压力测量及其仪表（PPT61页).pptVIP

其核心部分是一圆形的硅膜片，膜片厚度一般为0.1mm左右，材料通常是N型硅。膜片的四周用一圆环（硅环）固定。目前多采用圆形的硅杯一体结构。在膜片上有4个用集成电路工艺制成的等值P型硅电阻。在0.635r半径之内各分布两个电阻R2、R3，在半径之外各分布两个电阻R1、R4。膜片的两边有两个压力腔。一个是和被测系统相连接的高压腔，一个是低压腔，通常和大气相通。4 个电阻接到电桥电路的4个臂上。当膜片两边存在压力差时，膜片上各点存在应力。4个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡，输出相应的电压。此电压和膜片两边的压力差成正比，这样电桥的输出电压就反应了压力的变化。 4、压阻式压力传感器的特点: (1)灵敏度高，频率响应高； (2)测量范围宽，可测低至10Pa的微压到高至60MPa的高压； (3)精度高，工作可靠，其精度可达±0.2％～0.02％； (4)易于微小型化，目前国内生产出直径φ1.8～2mm的压阻式压力传感器。 5、应变片的共性问题： 工作温度影响——需补偿； 材料选择——硅、锗 加工工艺——缠绕、箔片、印刷、扩散、溅射… 安装位置及方法——应变大小。 某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时，其内部将发生极化现象，而在其某些表面上会产生电荷。当外力去掉后，它又会重新回到不带电的状态，此现象称为“压电效应”。 优点：结构简单、紧凑，小巧轻便，工作