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基于光学相干层析成像的塑料薄膜厚度检测 摘要 非破坏性测试和评估(NDTE)以其独特的非侵入性的特点已经在工业生产上取得了广泛的应用。但是在微米级物品内部快速、非接触、非侵入性和高分辨率成像技术仍然稀缺。 光学相干层析成像技术(OCT)作为一种新颖的NDTE工具受到了越来越多的关注。论文主要介绍了 OCT 技术，并根据实验要求在实验室完成扫频OCT系统搭建。使用扫频OCT系统分别对单层塑料薄膜、两层塑料薄膜以及三层塑料薄膜进行扫描成像。通过对三幅图像进行图像处理，完成各层薄膜的边界提取，并根据像素与实际厚度的对应关系，完成塑料薄膜厚度的计算。并依据边界提取结果，对塑料薄膜的平整性进行定量可视化分析，突出了光学相干层析技术其无损性和高精度的特点，展现了光学相干层析成像技术对多层塑料薄膜各层厚度精确检测以及平整性检测方面有着广泛的应用前景。 关键词：非破坏性测试和评估、光学相干断层扫描技术、薄膜厚度 第一章 绪论 1.1 课题背景及意义 无损检测因为其独特性受到广泛的关注，逐步变成了工业发展必不可少的重要工具[1]。现阶段商品化的无损检测方法主要有有射线检验(RT)、超声检测(UT)、磁粉检测(MT)和液体渗透检测(PT) 四种。其他无损检测方法如：涡流检测(ECT)、声发射检测(AE)、热像/红外(TIR)、泄漏试验(LT)、交流场测量技术(ACFMT)、漏磁检验(MFL)、远场测试检测方法(RFT)、超声波衍射时差法(TOFD)等也取得了长足的进步。但是上述无损检测方法或无法做到精准检测或检测精度低。微米级无损检测技术仍然稀缺[2]。 多层塑料薄膜在包装工业中应用普遍，常常用来保护物品不受环境影响。例如在食品包装中，为了达到不同的保护效果，工厂常常使用不同材质制成薄膜保护内部不受氧气的氧化。在吹制多层薄膜的生产过程中，生产线往往是多种薄膜一次挤压成型，直接产出多层薄膜。在挤压成型的过程中，保证各层厚度符合要求至关重要。另一方面，从生产成本来看，有一些特殊的生产原料的价格极其高昂，任何材料的过量使用都会造成生产成本的提高。但是如果薄膜层太薄，规格无法满足要求，那么整个多层薄膜产本都将无法使用。为了确保在生产过程中产品符合规范，就需要进行在线质量控制，比如需要监测的参数包括各个层的厚度和均匀性，以及可能夹杂的空气或杂质等。在线质量监测必须是是非破坏性的，快速的，并且必须能够展现(半)透明的材料内部结构。 现行的工业监测手法是用射线探照的方式来测量薄膜的整体厚度。然而，这种方法会产生大剂量的辐射，存在安全隐患，另一方面这种检测方式无法确定多层薄膜中每一层层薄膜的厚度。一般来说，单个层的厚度通常通过控制材料的重量来实现。也就是说，最终产品的质量控制，永远只在离线状态下进行。而且进行样本检测时，样品是从产品上直接剪出，以破坏性的方式如切片显微镜进行分析。这种方法一方面浪费时间，另一方面，往往在产品产出后的数小时之后才会得出结果。在检测的这段时间内，生产线上生产的多层薄膜的质量是未知的，很有可能检测过程中生产的产品都不合格。 OCT非破坏性和非接触式的特性使该技术成为多层薄膜或涂层结构分析和质量监控的理想工具。如果已知多层薄膜中的各层薄膜材料折射率，根据折射率的相关知识，人们就可以获得样品单层厚度的精确值。将OCT系统集成至生产线上，形成整套的自动控制系统，就能在实时监测多层薄膜各个层的厚度。 1.2 OCT技术简介及应用现状 1.2.1 OCT技术发展简介 OCT技术的理论基础是早期的白光干涉测量法。1991年美国麻省理工的 DHuang和 J.G.Fujimoto 等人把白光干涉测量法与相干层析成像的概念相互结合，使用OCT技术完成了对视网膜以及冠状动脉壁进行成像[3]。此后，OCT技术得到了快速的发展，并且依据成像模式的不同，逐步发展出了多普勒OCT(ODT)、光谱OCT、差分吸收型OCT等多个种类。1996年，眼科OCT系统设备首次作为商业产品进入市场，商用OCT设备在医疗行业广泛被采用。目前世界各地的研究小组在不断地提高成像速度、探测深度、图像分辨率以及信噪比等方面取得了长足的进步。 1.2.2 OCT技术应用现状 2007年，Stifter发表了一份关于OCT在生物医学领域以外的应用的综合评价报告。此后OCT作为一种新颖的NDTE工具受到了越来越多的关注。越来越多的研究小组进一步的探索OCT可能的应用方向。在众多国家中最新的研究方向包括：多层薄膜厚度的测量，药片生产，激光钻孔和微型机械设备引导，有机太阳能电池生产，以及艺术品保护。 现在已经有几家公司和研究中心提供商业用OCT系统产品。这些系统的服务对