洁净室系统及应用.docVIP

XXXX XXXX 洁净室系统及应用 一、洁净室的慨念及应用 标准洁净室主要是对一个特定环境内的温度、湿度、尘埃、静电、噪音、化学污染、电磁场和震动进行控制，以达到规范的参数及生产所要求的标准； 随着现代工业的发展，目前一般应用在微电子工业、医药及食品工业、生物工程等领域。 二、洁净室的洁净度 1．1洁净室级别慨念:? ?10级~10K级(标准洁净室) 1ft3空气体中所含的直径为0.3um尘粒数量小于或等于所要求之级别; ?100K级~100K以下(准洁净室) 1ft3空气体中所含的直径为0.5um尘粒数量小于或等于所要求之级别; 美国联邦标准209E(1992年) 级别名称 级别限制 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 体积单位 体积单位 体积单位 体积单位 体积单位 SI English (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M1 　 350.00? 9.91? 75.70? 2.14? 30.90? 0.88? 10.00? 0.28? 　 　 M1.5 1? 1,240.00? 35.00? 265.00? 7.50? 106.00? 3.00? 35.30? 1.00? 　 　 M2 　 3,500.00? 99.10? 757.00? 21.40? 309.00? 8.75? 100.00? 2.83? 　 　 M2.5 10? 12,400.00? 350.00? 2,650.00? 75.00? 1,060.00? 30.00? 353.00? 10.00? 　 　 M3 　 35,000.00? 991.00? 7,570.00? 214.00? 3,090.00? 87.50? 1,000.00? 28.30? 　 　 M3.5 100? 　 　 26,500.00? 750.00? 10,600.00? 300.00? 3,530.00? 100.00? 　 　 M4 　 　 　 75,700.00? 2,140.00? 30,900.00? 875.00? 10,000.00? 283.00? 　 　 M4.5 1,000? 　 　 　 　 　 　 35,300.00? 1,000.00? 247.00? 7.00? M5 　 　 　 　 　 　 　 100,000.00? 2,830.00? 618.00? 17.50? M5.5 10,000? 　 　 　 　 　 　 353,000.00? 10,000.00? 2,470.00? 70.00? M6 　 　 　 　 　 　 　 1,000,000.00? 28,300.00? 6,180.00? 175.00? M6.5 100,000? 　 　 　 　 　 　 3,350,000.00? 100,000.00? 24,700.00? 700.00? M7 　 　 　 　 　 　 　 10,000,000.00? 283,000.00? 61,800.00? 1,750.00? ISO?国际标准（ISO?Standard） 洁净度级别Cleanclass 粒径Particles?Size?(um) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um ISO?1 10? 2? 　 　 　 　 ISO?2 100? 24? 10? 4? 　 　 ISO?3 1,000? 237? 102? 35? 8? 　 ISO?4 10,000? 2,370? 1,020? 352? 83? 　 ISO?5 100,000? 23,700? 10,200? 3,520? 832? 29? ISO?6 1,000,000? 237,000? 102,000? 35,200? 8,320? 293? ISO?7 　 　 　 352,000? 83,200? 2,930? ISO?8 　 　 　 3,520,000? 832,000? 29,300? ISO?9 　 　 　 35,200,000? 8,320,000? 293,000? ? 单