真空电子显微量测仪(.docx

真空電子顯微量測儀(SEM )儀器介紹 SEM工作原理： SEM主要構造示意圖如圖一與圖二所示。電子槍利用電源加熱鎢絲燈 (Tungsten Filamen)上，燈絲所放出之熱電子射出，再由約 0.2 ~ 40 kV的電壓 加速，進而產生電子束。產生細小之電子束經過電磁透鏡系統，形成直徑極小之 電子探束(Electron Probe)而後照射在試樣表面。 圖一、 ■■；; ■■- ■:：condcnw Ians-beam dellecla^ 圖一、 ■■；; ■■- ■:： condcnw Ians- beam dellecla^ alearona from speeiman BiHGimon 電子束在試樣上掃描照射，產生各種不同訊號，包括入射電子(Incident Electron)、二次電子(Secondary Electron、背向散射電子(Backscattered Electron)、穿透電子(Transmission Electron) 陰極螢光(Cathode luminescenee、 X-ray及歐傑電子(Auger Electron)等。圖三為各種訊號與解析度之示意圖。 圖三、 Theory of Scanning Electron Microscope Primary Elertron Beam Backscatter cd Electran Cathod