Tescan3型扫描电子显微镜操作规程(3).docxVIP

廉新资料推荐 廉新资料推荐 最新精骷资料 最新精骷资料S理推荐.更新于二C二一年一月四口 2021年1月4 口星期」07:18:09 TescanS型扫描电子显微镜操作规程 1、开机：打开N2阀门 (1 )开启并确认稳压电流：220V。 (2 )打开电镜主开关,由OFF位转向ON位，等待计算机完 成启动。 (3 )如果进行元素分析,则先打开QUANTAX程序,后打开 VEGA程序,确认用户、语言、密码,等待软件进入系统。 (4 )系统自动进行硬件、软件自检。 (5 )单击VEGA中的［PUMP］,抽真空开始。 (6 )待真空状态显示条由红变绿,真空度小于10^-5toiT后, 即真空达到要求,单击［HV］接通电镜高压,开始观察样品和照像。 2、更换样品 (1 )单击［HV］,切断高压。 (2 )手动调节样品台，使其回到初始位置。 (3 )单击窗口中的［泄真空］,样品室放空，调节合适的N2流 量进入，不能使N2流量太大『通常控制出口压力表在0.1刻度左右。 (4 )真空指示红条消失后,样品室恢复为大气压,打开样品 室门,更换样品。 (5 )待更换好样品后,轻按样品室舱门,点击［Pump］抽真空, 真空指示进度条变绿，真空度小于10A-5torr后，方可点击［HV］开启 高压。 (6 )确认BSE探头己摇出。 3、样品观察和物相、成分分析 (1 )根据样品特性,选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI (束 流\工作距离WD和高压HV ,确认高压值和发射电流，若无电流 或高压,做 adjustment^ auto gun heating ( 30kv ( 75+5 ) pA ; 20kv (100±5) |.iA h 进行观察。 (2 )按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图 像清晰度至最佳。 (3 )根据放大倍数,选择合适的扫描速度采集图像并存储 (4 )如果对样品进行成分分析,应该将WD调至15mm左右, 手动调节样品台高度,直至清晰为止(空载时,物镜极靴与样品台 的安全高度为3mm ;当BSE探头摇进时,安全高度为8mm X (5 )在扫描窗口中,双击选择所要测量的小区域，调整BI『 检测计数率。 (6 )能谱分析时,要根据样品性质,选择合适的电镜加速电 压,设置采谱时间,EDS的时间常数,调整束流使能谱计数率CPS 为适当值(一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25 万)0 (7 ) EDS的定性分析,不能完全依靠自动,要人为参与,检 查结果的正确性。 4、关机 (1 )在图像中，点击鼠标右键,选菜单中的最小化按钮,使 最新精骷资料 最新精骷资料S理推荐.更新于二C二一年一月四口 2021年1月4 口星期」07:18:09 燉新资料推荐 SEM回到最小放大倍数,BI调到10 ,样品台降至最低位置(手动 调节h将BSE探头摇出,然后再切断高压按钮。稍开N2阀,通入 N2. (2 )关闭高压大约3niin后,开始泄真空,取出样品,单击 VEGA中的[PUMP],抽真空开始,关闭VEGAo (3 )点击用户界面的关闭或文件菜单中的switch off and exit # 退出SEM操作界面。 (4 )正常关闭电脑主机。 (5 )将SEM主机下方面板上的开关,由ON转向OFF。 (6)关闭N2阀门。 (7 )拔下电源插头。 5、安全操作注意事项 (1 )进行观察的块状样品,必须有一定的尺寸要求，必须干 净,不能有油渍或挥发性气体放出,避免污染电镜。 (2 )样品放置或移动时,必须确保不会碰触各种探头。 (3 )调整试样的工作距离时,注意报警器报警,防止碰触物 镜。 (4 )样品室的真空达到要求(10*5⑹T )后『才可加灯丝高压。 (5 )操作者不观察样品或离开岗位时,一定切断高压。 (6 )退出SEM分析软件时,一定使系统真空达到要求，保持 绿条提示才关闭软件。 (7 )为防止该套系统电脑主机受病毒侵害，数据导出时,只 廉新资料推荐 廉新资料推荐 最新精骷资料 最新精骷资料S理推荐.更新于二C二一年一月四口 2021年1月4 口星期」07:18:09 廉新资料推荐 廉新资料推荐 最新荊骷贡料整理推荐，更新于二 最新荊骷贡料整理推荐，更新于二G二一年1月四口 2021年1月4 口星期」07:18:09 能使用光盘或格式化了的U盘。 (8 )粗粉体可以直接撒在试样座的双面碳导电胶上，用干净 表面平的物体，例如玻璃板压紧,然后用洗耳球轻轻吹去粘结不牢 固的颗粒。细粉体可用无水乙醇分散于试样面座上,待液体烘干或 自然干燥后,粉体靠表面吸附力即可粘附在试样座上。用洗耳球轻 轻吹去粘结不牢固的颗粒,样品量必须少。 (9 )关机前确定放大倍数最小，BI值为10。 (10)硬件方面：关机前确认BSE探头是否摇出,样品台隆到 最