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- 2021-09-07 发布于北京
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涂层刀具的发展与应用;一 气相沉积技术概述; 图 1 气相沉积技术分类及工艺方法 ;1.2 气相沉积技术特点;不同气相沉积技术,也具有不同的工艺特点。属于热平衡的CVD工艺技术,气体反应源的温度远低于沉积反应温度。所以在沉积工艺中,很容易改变反应源物质组份,获得种类繁多的碳化物、氮化物、氧化物、硼化物、硅化物单金属和合金涂层。CVD涂层厚度和质量均匀一致,涂层和基体结合强度高,尤其对形状复杂,面积大的物件更为适合。CVD装备相对要简单一些,适合工业化生产。所以在气相沉积技术中,CVD一直占有重要地位。CVD技术缺点是被涂层基体要加热到1000℃左右高温,超过了钢基体材料的回火温度,再进行热处理,容易产生变形,即使基体为硬质合金材料,也会因高温等因素使基体表面脱碳,形成η相,降低了抗弯强度。另外随着环保要求的提高,处理CVD排放的有害废气,也会增加生产成本。所以,为了解决一般高温CVD的问题,近几年有机金属化合物热分解MTCVD和等离子增强低温CVD技术发展很快。既具有一般高温CVD的优点,又使沉积温度降到600℃以下,取得了很好的效果。 ; PVD属于非热平衡型。反应源的蒸发温度远高于基体物件的温度,沉积温度一般都在600℃以下,不会改变基体的力学性能和尺寸精度。工艺中基本不产生有害废气。近年来,由于PVD技术和工艺设备水平的发展,加上使用靶材品种和质量的增加,有效提高了涂层和基体的结合强度,扩大了涂层材料的种类,使过去难于使用PVD技术沉积的碳化物、氮化物、氧化物等硬质涂层,现在变成了可能。极大的扩展了PVD技术的应用范围。
表1列出了几种PVD和CVD技术特性比较情况。 ;表1几种不同PVD和CVD技术特性比较;9、我们的市场行为主要的导向因素,第一个是市场需求的导向,第二个是技术进步的导向,第三大导向是竞争对手的行为导向。七月-21七月-21Monday, July 12, 2021
10、市场销售中最重要的字就是“问”。11:56:2111:56:2111:567/12/2021 11:56:21 AM
11、现今,每个人都在谈论着创意,坦白讲,我害怕我们会假创意之名犯下一切过失。七月-2111:56:2111:56Jul-2112-Jul-21
12、在购买时,你可以用任何语言;但在销售时,你必须使用购买者的语言。11:56:2111:56:2111:56Monday, July 12, 2021
13、He who seize the right moment, is the right man.谁把握机遇,谁就心想事成。七月-21七月-2111:56:2111:56:21July 12, 2021
14、市场营销观念:目标市场,顾客需求,协调市场营销,通过满足消费者需求来创造利润。12 七月 202111:56:21 上午11:56:21七月-21
15、我就像一个厨师,喜欢品尝食物。如果不好吃,我就不要它。七月 2111:56 上午七月-2111:56July 12, 2021
16、我总是站在顾客的角度看待即将推出的产品或服务,因为我就是顾客。2021/7/12 11:56:2111:56:2112 July 2021
17、利人为利已的根基,市场营销上老是为自己着想,而不顾及到他人,他人也不会顾及你。11:56:21 上午11:56 上午11:56:21七月-21
;1.3 气相沉积技术应用概述;表2 气相沉积技术主要应用范围;;二 刀具涂层的发展史;我国从1971年开始,对硬质涂层CVD工艺技术和设备进行了研究,并取得了很大的进展,有些科研成果已达到了国外先进水平。日前,TiC、TiN、TiBN、Al2O3、金刚石、C3N4等单涂层和复合涂层气相沉积技术和设备,在我国正大力推广应用,必将对我国工业现代化作出更大的贡献。;三 刀具涂层用设备及其工艺技术;图2示出了负压沉积硬质涂层的CVD装置示意图 ;装置由以下几部份组成:;CVD装置主要性能;加热方式及控制
CVD装置的加热方式有电阻加热、高频感应加热、红外线和激光加热等,这应根据装置结构、涂层种类和反应方式进行选择。对大型生产设备多采用电阻加热方式。
沉积室及结构
在设计沉积室时,首先要考虑沉积室形式(如立式、卧式等),制造沉积室材料,沉积室有效窖和盛料混气结构。
一个好的沉积室结构,应在保证产量的同时,还要做到:
第一,各组分气体在沉积室内均匀混合;
第二,要保证各个基体物件都能得到充足的反应气体;
第三,生成附产物能迅速离开基体物件表面。这样就能使每一件基体和同一件基体的各个部分,涂层厚度均匀一致,涂层质量性能均匀一致。 ;真空及废气处理
CVD装置大多会产生腐蚀性、有毒性废
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