实验二钢的淬火回火工艺及组织与性能.pptVIP

六、实验报告要求(yāoqiú) （1）描述实验过程中观察到的各种现象，并给出合理的解释(jiěshì)。 （2）实验装置中各主要部分的用途。 （3）阐述等离子体的产生原理。 （4）详细记录实验过程、工艺参数及实验步骤，写出类金刚石薄膜制备实验报告。 第二十页，共24页。 七、实验(shíyàn)注意事项 （1）实验之前须认真阅读有关仪器的使用说明，理解仪器操作规程及其先后操作步骤的关系； （2）在开启直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积系统之前，需要确保(quèbǎo)冷却水已经打开； （3）实验结束后关闭水、电和气体。 第二十一页，共24页。 八、思考题 （1）注意分子泵的开启时机，为什么刚开始抽真空不能直接开动分子泵？在对真空室进行通气时为何要关闭分子泵？ （2）热偶规管和电离规管的工作原理是什么？它们的量程范围是多少？ （3）等离子体是如何产生的？等离子与薄膜制备的关系？ （4）薄膜制备之前，为什么要对基片进行清洗？清洗主要(zhǔyào)有哪些方法？ 第二十二页，共24页。 等离子体增强化学气相沉积(chénjī)方法制备类金刚石薄膜实验 第一页，共24页。 一、实验目的 二、实验内容 三、实验仪器设备和材料 四、实验原理(yuánlǐ) 五、实验方法和步骤 六、实验报告要求 七、实验注意事项 八、思考题 提纲(tígāng)： 第二页，共24页。 一、实验(shí