作为致动器的弯曲换能器、作为传感器的弯曲换能器、以及弯曲换能器系统的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 作为致动器的弯曲换能器、作为传感器的弯曲换能器、以及弯曲换能器系统的制作方法 本发明涉及一种弯曲换能器，及其作为致动器或者传感器的用法，以及一种弯曲换能器系统。背景技术：需要微机械装置(mems)以将电信号转换成机械效应，即在致动器的状况下，或者将机械效应转换成电信号，即在传感器的状况下。出于本申请的目的，“效应”意味着例如执行工作，以及相关联偏转或者弯矩的应用。微机电组件的电信号与机械效应(传输特性)之间的关系的线性常常受制于高需求。这适用于例如，在麦克风或者扬声器中用法此类微机电组件。传输特性的非线性不利地影响微机电组件可以满足其预期功能的精度且必需在致动器的状况下用复杂控制校正或者在传感器的状况下用复杂信号处理校正。举例而言，微机械声音换能器(即，扬声器或者麦克风)的传输特性中的非线性导致高失真因子且必需通过额外用法微处理器或者信号处理举行校正。概括来讲，存在诸如微扬声器的实际应用，其中所施加信号电压的电平与由设备产生的机械效应(即待执行的工作)的幅值之间的线性关系是至关重要的。同时，输出信号(在扬声器的状况下，是空气载声)的光谱组成应等同于输入信号的光谱组成，其与低失真因子相对应。线性范围取决于振幅和频率，且应尽可能大。就此而言，通过在不显著转变线性的状况下转变(电)操作参数，来转变敏捷度及频率是有须要的。出于本申请的目的，敏捷度意味着效应中的变幻与信号中的变幻之间的关系。具有传输特性的充实线性的mems设备的从前设计实施计划是基于在结构有限动态范围(相对于拉入不稳定性)且因此有限频率范围中具有不利高电压要求的mems技术，其不适合用于移动应用。对文献us9783408b2举行例示性参考。wo2095185a1描述了如何设计具有高性能及低功耗的mems设备，但并未描述充实和调节线性的可能措施。出于增强弯曲半径或者增强具有相同弯曲特性的驱动效率的目的，de102015206774a1中提出由通过中性纤维分隔开的两个弯曲换能器组成的弯曲换能器系统。在该工艺中形成的空腔仅意欲对弯曲特性具有正效应。未藏匿用于充实和调节线性的措施。技术实现要素：因此，本发明的目的是提供一种弯曲换能器、及其作为致动器或者传感器的用法、以及此类弯曲换能器的系统，所述弯曲换能器示出具有相同或者相当的效率的经充实和可调节的线性。此目的是通过自立权利要求的主题解决。本申请的核心构思是，当弯曲换能器包括具有第一微机电换能器(以下简称作mems换能器)以及其次mems换能器的可偏转元件时，作为致动器用法的弯曲换能器可以在相当的性能处提供经充实和可调节的线性，第一mems换能器沿着可偏转元件的质心纤维延长且其次mems换能器沿着质心纤维延长，所述质心纤维起码位于彼此背对的mems换能器的远程边缘之偶尔者侧面之间，或者甚至位于mems换能器之间，且当将第一或者其次电信号施加至第一或者其次mems换能器时，且当按照电输入信号执行第一及其次电信号转变时，在相反方向上使可偏转元件偏转，使得第一及其次电信号的相位相对于彼此偏移。相移可以在0.001°至240°之间(包括两者)，或者甚至在60°至200°之间(包括两者)或者180°。此实施例允许获得原本用法三电极原理才可能实现的线性方面的优势，并且在不产生性能问题的状况下获得对称性控制件。按照本发明，通过该控制件，可以在大频率范围内获得具有高动态的大线性范围，即，大振幅范围。类似地，本申请的部分核心构思已熟悉到：当弯曲换能器配备有可偏转元件时，作为传感器用法的弯曲换能器可以在相当的性能处获得经充实和可调节的线性，其中可偏转元件的质心纤维仍然是位于第一及其次mems换能器的相反侧面之间，且一旦可偏转元件发生变形，在换能器的终端处输出的电信号就被用于产生输出信号以使得输出信号的变幻取决于在第一换能器处的第一电信号的变幻与在其次换能器处的其次电信号的变幻的差异。一方面，可以在负载变幻期间使线性优化，另一方面，可以特定于应用对敏捷度及挑选率(在此状况下为共振频率)举行适配，以便最大化线性动态范围(在此状况下为振幅)以及线性频带。按照实施例，第一及其次mems换能器是沿着可偏转元件的纵向方向细分成区段的每个板电容器，且因此也通过在区段之间相互固定各个板电容器的电极而沿着质心纤维细分。以此方式，弯曲换能器的偏转相对于两个电极之间的距离可以较大。质心纤维可以起码位于彼此背对的mems换能器的侧面之间，即，彼此间隔放置的mems换能器的远程电极或者电极的相反侧面之间；或者甚至mems换能器的远程电极之间；或者mems换能器的近端电极或者彼此远离的电极的相反侧面之间；或者甚至mems换能器之间，即，面朝mems换能器的近端电极的侧面。在这些实施例中的一些中，各