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射频电源电路 一、 主 要 技 术 性 能 1、 射频源： 1) 板极电压： 200～ 1500V 连续可调 2) 板极电流：≦ 0.36A 3) 板极直流消耗功率：≦ 0.58KW 。 4) 输出功率： 6～500W 连续可调。 5) 频率： 13.56MHz 2、 匹配箱： 1) 阻抗匹配范围： （2.7～45 ） Ω～j(0 ～70) Ω 2) 具有手动调节网络参数达到匹配之功能。 3) 网络参数由耦合和调谐旋钮刻度读出。 二、 使 用 方 法 1、 逆时针调节 “Ua调节 ”电位器到最低位置 （因没开电源， 没有指示， 以调不动为止） ， 功率计开关置于 2 kW 档。 2、 插上电源插头，打开电源开关预热 5 分钟左右，红色灯应该亮。 3、 按下 “Ua— ON”开关，绿指示灯应该亮， 缓缓调节 “Ua调节 ”到