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微细电火花加工的最新实例与未来的展望 以往认为电火花加工与精密和微细加工关系不大。然而，由于沙迪克公司NC化的实施，时至今日，电火花加工机床作为工作母机已确立起了不可缺少的地位。 现在沙迪克公司的超精密、微细加工，正在把直线技术当作创新方法，成为纳米领域条件下的技术革新的主题。沙迪克公司由NC电火花加工开始在向直线电机和纳米进化与变革中继续偏重于研制超精密、微细领域里的最尖端技术的纳米机床“Ultra NaNo—100(超微细纳米100)”与“SPACE(太空)系列”。 支撑纳米技术的4种主要技术 沙迪克公司于2001年12月，着手研制纳米机床。作为其契机的直线技术革新，是1998年秋对世界首台直线电机驱动的电火花成形加工机(AM35L)进行产品化开始的。在此之前，要实现1μm以下的加工精度是非常困难的。打破现状的决策是，根据判断，在以往的驱动方式中，用“滚珠丝杠与旋转电机的进给机构”难于突破1μm以下的界限，所以决定，以后把所有的机床都更换成直线电机驱动。 支撑纳米技术的4种主要技术是陶瓷、直线电机驱动、数控与NC装置和驱动控制器。为最大限发挥每一尖端技术的优越性这些主要技术皆由沙迪克公司研制，需要完整无缺的掌握所有的特性。最终便在极短时间内引导出能使性价比优异的超精密、微细加工以及机床性能的具体化获得了成功。 下面拟对与各项主要技术相关的超精密、微细加工的优越性作一整