微细电火花加工技术在微型模具制造中的运用.docVIP

微细电火花加工技术在微型模具制造中的运用 　　随着纳米技术的进步，产品不断向微型化方向发展，特征尺寸为微米级的微机电系统越来越受到人们的高度重视。 　　微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Machanical Systems）包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，MEMS已相继应用于精密机械、光电通讯、影像传输、生化医疗和信息储存等领域，如微齿轮、插头式光纤连接器、医学用微量泵、导光板、微透镜、内窥镜零件、微流控芯片、细胞培养用微型容器，以及旋转传感器中的衍射光栅等都需要微型模具。国际MEMS市场近年来获得迅速发展，中国的MEMS市场增速也将加快，据有关资料预测，至2011年我国MEMS的增速有望达到29.2%。 　　所谓微型模具，如果从尺寸和制造精度上加以限定，则微型模具具有以下特征：成形制件尺寸微小，一般来说体积为1mm3左右；成形的微观尺寸从几微米到几百微米，模具表面粗糙度Ra≤0.1μm，模具的制造精度≤1.0μm。 　　微型模具不一定指体积微小的模具，在大体积的模具上有微结构特征的部分，这一部分也可称作微型模具，这种模具结构的微小型腔部分，可在一个小体积的模块上加工，然后把小模块作为一个模块嵌入大模具中，这不仅便于微小模具的微细加工，而且可以进行镶块更换，以提高整体模具的寿命。 　　微型模具的制造难点在于微小型腔或微小凹凸结构的加工，