椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告.pdfVIP

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2022-04-25 发布于北京
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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告.pdf

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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的 1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法. 实验原理在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常, 设介质层为n 、n 、n , φ为入射角,那么在 1、2 介质交界面和2 、3 介质交界面会产生反射光和折射光 1 2 3 1 的多光束 ,如图(1-1) 1 介质n1 界面1 薄膜n2 2 界面2 衬底n3 3 Eip 和Eis 分别代表入射光波电矢量的p 分量和s 分量，Erp 和Ers 分别代表反射光波电矢量的p 分量和s 分量.现将上述Eip 、Eis 、Erp 、Ers 四个量写成一个量G,即: −i 2 − 2 E / E r r e + r + r e i rp rs 1p 2p i 1s 2 s G = = tge = · …(3) −i 2 −i 2 E / E r 1r+ e 1 + r r e ip is 1p 2p 1s 2 s 我们定义G 为反射系数比，它应为一个复数，可用tg 和表示它的模和幅角.上述公式的过程量  转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: 推导出和与r 、r 、r 、r 、和δ的关系:   1p 1s 2p 2s 2 2