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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
实验目的
1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理.
2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法.
实验原理
在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常,
设介质层为n 、n 、n , φ为入射角,那么在 1、2 介质交界面和2 、3 介质交界面会产生反射光和折射光
1 2 3 1
的多光束 ,如图(1-1)
1
介质n1
界面1
薄膜n2 2
界面2
衬底n3 3
Eip 和Eis 分别代表入射光波电矢量的p 分量和s 分量，Erp 和Ers 分别代表反射光波电矢量的p 分量
和s 分量.现将上述Eip 、Eis 、Erp 、Ers 四个量写成一个量G,即:
−i 2 − 2
E / E r r e + r + r e i
rp rs 1p 2p
i 1s 2 s
G = = tge = · …(3)
−i 2 −i 2
E / E r 1r+ e 1 + r r e
ip is 1p 2p 1s 2 s
我们定义G 为反射系数比，它应为一个复数，可用tg 和 表示它的模和幅角.上述公式的过程量
转换可由菲涅耳公式和折射公式给出:
推导出 和 与r 、r 、r 、r 、和δ的关系:
1p 1s 2p 2s
2 2
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