薄膜物理第一章.pptVIP

* 真空泵的抽速Sp与管路的流导C有着相同的物理量纲，且二者对维持系统的真空度起着同样重要的作用 考虑如图的系统，使用一台抽速为Sp的泵通过流导C抽除真空容器中的气体，由于各处流量相等，有： 所以真空泵出口处实际抽速S降低为： * 即真空泵的实际抽速S永远小于泵的理论抽速Sp，且永远小于管路流导C。即S受Sp和C二者中较小的一个所限制。 所以设计真空系统的一个基本原则就是要保证管路的流导C大于真空泵的理论抽速Sp * 2、真空泵可以达到的极限真空度 实际的真空系统总存在气体回流、气体泄露、气体释放等现象。设其等效的气体回流流量Qp ?0 ，并忽略管路流阻(流导C为无穷大，p=pp)，则由流量相等有： 令Q=0可得极限真空度p0为: * 可见它将随着Q的减少以及p→p0的过程而趋于零 所以，真空泵的实际有效抽速为 若同时考虑真空泵回流、真空容器的泄露、真空管路 的流导以及真空容器的容积等因素之后，整个真空系统的 极限真空度总要低于真空泵的极限真空度。 常引入系数γ表示则：实际有效抽速为 * 另外若设在时间间隔△t内，真空容器压强从p →p -△p，那么从容器中排除的气体流量为△p V，这应等于真空泵抽掉的气体流量，即 则气压随时间的变化曲线为 pi为t=0时系统的真空度 * 一、真空泵的分类 输运式（排出式）：采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统外 捕获式（内消式）：依靠真空系统内凝结或吸附气体分子的方式将气体分子捕获，排除于真空之外。 §1.3 真空泵简介 真空泵 的分类 二 、输运式真空泵 机械式 气流式 * 1、机械式气体输运泵（机械泵） 旋片式机械泵、罗茨泵以及涡轮分子泵是典型例子 （1）、旋片式机械真空泵 * 旋片式机械泵转子的四个典型位置 抽气原理 是应用最广泛的一种真空泵，可以从大气开始工作 * 整个泵浸泡在油中，每一周期有少量油进入容器内部，形成油膜保持润滑和密封。为防止气体回流，运动部件间有很小的配合间隙。 * 其抽速可如下估算： 设在泵的每次旋转中，转子与定子之间体积为V的气体被全部排出至泵腔之外。此时泵的理论抽速等于 注意：此式仅适用于压力较高时，当泵的压力逐渐降低时，泵的抽速将逐渐降低并趋于零。 f 为转速 式中γ随 f 增加而减小 * 一般旋片式机械泵的抽速范围大致在1~300L/s之间，极限真空度可达10-1pa 限制旋片式机械泵真空度的因素主要有： 1）、泵结构上存在着有害空间Vc * 特点：结构简单、工作可靠、噪声小、运行速度高 缺点：由于它以油作为密封物质，所以会造成油蒸汽的回流和对真空系统的油污染 其他常见的机械泵 2）、吸气和排气空间之间存在气压差，高压气体从间 隙窜回吸气空间 3）、在吸气和排气空间的泵油气也在上述两空间之间 循环流动 * * （2）、罗茨真空泵(机械增压泵) * 特点：转子的咬合精度很高，转子可高速旋转，不用 油作为密封介质，抽速很大，极限真空度可达 10-2pa左右。 但当气体的压力低于10-1pa以后，气体的回流将造成罗茨泵抽速的降低。而在压力较高时，大量气体的高速压缩又会引起泵体和转子发热膨胀，造成配合精度很高的泵体损坏。因此罗茨泵的工作压力范围是0.1~1000pa之间。所以罗茨泵常用机械泵作为前极。 * 油扩散泵的外形图 2、气流式气体输运泵 （1）油扩散泵 * 借助于喷嘴中高速喷出的油气喷流的动量而输运气体的真空泵 利用油加热后形成大量的油蒸汽，油蒸汽沿着蒸汽导管传输到上部，经伞形喷嘴向外喷射出。 三级喷嘴油扩散泵简化工作原理 * 三级喷嘴油扩散泵简化工作原理 由于喷嘴外的压强较低，于是蒸汽会向下喷射出较长的距离，形成一高速定向的蒸气流。 其射流的速度可达200m/s甚至2倍音速以上，其分压强低于扩散泵进气口上方被抽气体的分压强，两者形成压强差。 * 真空室内的气体分子必然会向着压强较低的扩散泵口扩散，与具有较高动量和能量的超音速蒸气分子相碰而发生动量和能量交换，气体分子在高速油分子碰撞推动下，被赶向下方，在泵的下方形成密集气体分子流，在出口处被前极的机械泵抽走从排气口排入大气。 * 从喷嘴喷出的油蒸气碰到水冷的泵体内壁而凝结，凝结的油沿壁面返回泵底。这种泵只排除飞人蒸汽喷流内的气体分子。 由于出口处气体压强大于进口处压强，气体分子有从出口处向进口处进行反扩散的趋势；但因蒸汽流本身形成了阻挡层，减少了气体的扩散效果。 * 当