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* 朱熹“问渠哪得清如许?为有源头活水来!” 如果将产品比作渠,制造过程比作水,制造方法比作源,那么好的产品就是清渠,好的制造过程就是活水,好的制造方法就是高品位的富源。高品位的富源涌出活水,活水流成清渠。 制造产品:“精”“极”“文” 制造过程:“绿”“快”“省”“效” 制造方法:“数”“自”“集”“网”“智” 1.3.3 先进制造技术的发展趋势 先进制造技术 先进制造技术发展的总趋势 传统制造技术+信息技术+管理科学+有关科学技术 第五十八页,共九十页。 1.3.3 先进制造技术的发展趋势 中国科学院院士、机械工程专家杨叔子 “精”是关键,“极”是焦点,“文”是新义,“数”是核心,“自”是条件,“集”是方法,“网”是道路,“智”是前景,“绿”是必然,“快”是动力,“省”是原则,“效”是追求。 这12点实质上指的就是产品、制造方法、制造过程3个不同的方面:“精”的精确化,“极”的极端条件,“文”的人文化,是对产品本身而言;“数”的数字化,“自”的自动化,“集”的集成化,“网”的网络化,“智”的智能化,是对所采用的制造方法而言;而“绿”的绿色,“快”的速度,“省”的节省,“效”的高效,是对制造过程而言。当然,源头决定了活水,活水决定了清渠,而制造方法、制造过程与产品彼此之间是有相互影响的。 * 第五十九页,共九十页。 * “精”是发展的关键——精确化 加工精度精密化 人造卫星的仪表轴承,其圆度、圆柱度、表面粗糙度等均达纳米级; 操作尺度细微化 基因操作机械,其移动距离为纳米级,移动精度为0.1纳米级 物理性能精确化 _物理性能、力学性能、化学性能、生化性能等等 控制要求纳米化 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 第六十页,共九十页。 * 电子制造中 高精度:控制趋于纳米级 加工趋于亚纳米级 超微细:芯片线宽<100nm 运动副间隙<12nm 高加速度:封装运动>12g 高可靠性:芯片千小时失效率<1/109 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 第六十一页,共九十页。 * 超精密加工 20世纪初: 10微米 30年代: 1微米 50年代: 0.1微米 70-80年代: 0.01微米 目前: 0.001微米 (纳米加工) 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 极 第六十二页,共九十页。 * “极”是发展的焦点——极端、极限 几何形体上,极大、极小、极厚、极薄、极平、极柔、极圆、极方、奇形怪状; 在物理性能上,极高硬度、极高塑性、极大弹性、极大脆性、极强磁性、极强辐射性、极强腐蚀性,奇性怪能; MEMS(Micro-Electro-Mechanical_System)技术和产品是典型极端、极限技术和产品。 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 第六十三页,共九十页。 * 关于微电子芯片制造 1. 巨大的投资 建一座生产1000兆位存储器的芯片制造厂,需要投资150亿美元 2. 当前的芯片制造设备 (1)超净:尘埃颗粒直径0.1微米 颗粒数0.1个/立方英尺空气 (2)超纯:有害杂质含量达到ppb(十亿分之一) (3)超精加工:钠米级 我国的“龙芯”。 日本日立公司(2006)报导:集成电路小如尘粒: 长、宽150μm,厚7.5μm 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 第六十四页,共九十页。 * 2002年 原子级纳米“晶体管”(电极相距1nm) 2003年 世界最小的电动机——纳米电动机(直径500nm) 量子计算机基本电路(1/500mm,近°K 工作) 2004年 能停或暂停的分子马达 用核磁共振观测到单个电子 2005年 超大容量纳米级信息存储材料 2006年 世界最小的发电机——纳米发电机 发展趋势 —— 制造产品:“精”“极”“文” 第六十五页,共九十页。 纳米技术 将一个铁原子与一个氧化碳分子结合形成一个铁羟基分子的过程。 美国波士顿大学的化学家制备出世界上最小的马达,该分子马达由78个原子构成 * 第六十六页,共九十页。 纳米发电机 * 第六十七页,共九十页。 纳米发电机 纳米发电机 纳米发电机是基于规则的氧化锌纳米线的纳米发电机。(A)在氧化铝衬底上生长的氧化锌纳米线的扫描电子显微镜图像。(B)在导电的原子力显微镜针尖作用下,纳米线利用压电效应发电的示意图。(C)当原子力显微镜探针扫过纳米
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