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基板保持装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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基板保持装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf

    本发明提供一种使用粘着构件良好地保持基板用的技术。其特征在于，具备：使基板(10)沿着包含与保持面(110X)垂直的第一方向在内的方向移动的基板移动机构；具有按压基板(10)的按压部(450)的按压机构；以及控制所述基板移动机构及所述按压机构的控制部(720)，控制部(720)控制所述基板移动机构及所述按压机构，使得在使基板(10)与保持面(110X)接触之后通过按压部(450)按压基板(10)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750743 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011178069.5 (22)申请日 2020.10.29 (30)优先权数据

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