光栅传感实验报告.docx

光栅传感试验 关于莫尔条纹现象的觉察，可以追溯到 19 世纪的七十年月，英国物理学家 Rayleigh 于1874 年第一次描述了两块光栅重叠后所形成的条纹。他在一篇题为“关于衍射光栅的制造和理论”的论文中写到“假设把每英寸具有同样数目的刻线的两个 ( 衍射光栅的 ) 照相复制品处于接触状态，使两个光栅中的刻线几乎平行则就会产生一组平行的条纹，其方向将 两个光栅刻线之间的外角二等分，而其距离随着倾角的减小而增大”。在这之后，曾有过许 多企图利用条纹运动作为测量目的的尝试。 1887 年 Righi 第一次指出了这一现象用于测量的可能。 Giambiasi 在 1922 年取得了一项承受目测条纹的测径规的专利。随着一．试验目的 理解莫尔现象的产生气理 测量直线光栅常数 观看直线光栅、径向圆光栅、切向圆光栅的莫尔条纹并验证其特性。 了解光栅传感器的构造及应用二．试验原理 莫尔条纹现象 两只光栅以很小的交角相向叠合时,在相干或非相干光的照明下，在叠合面上将消灭明暗相间的条纹，称为莫尔条纹。莫尔条纹现象是光栅传感器的理论根底，它可以用粗光栅或细光栅形成。栅距远大于波长的光栅叫粗光栅，栅距接近波长的光栅叫细光栅。 直线光栅 两只光栅常数一样的光栅，其刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角θ,则由于挡光效应〔刻线密度=50/mm〕或光的衍射作用〔刻线密度=100/mm〕，在与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹，如图1 所示。 图 2 径向圆光栅莫尔 图 1 直线光栅莫尔条纹 设主光栅与指示光栅之间的夹角为θ，主光栅光栅常数为d1 ，指示光栅光栅常数为d2 ， 相邻莫尔条纹之间的距离为w。为了求叠合后的莫尔条纹方程，先建立直角坐标系及相应的光栅方程。取光栅常数为d1 的光栅的任一栅线为 y 轴，与其垂直的方向为 x 轴。令 n 与 m 分别为两光栅的栅线序数，两光栅的栅线方程分别为： x nd1 〔1〕 mdy ? cot? ? x ? sin ?2 〔2〕 md 然后求两光栅栅线交点的轨迹，交点轨迹是由栅线的某一列序数〔n，m〕给定。一般状况下， 交点连线由〔n,m=n+k〕序列给定，其中k 是整数。今以m=n+k， n ? x / d 1 莫尔条纹方程的一般表达式为： 代入〔2〕，解得 dy ? x ? (1 ? 2 ) ? cot? ? kd 2 d  〔3〕 d ? cos? sin? 1 上式为始终线方程簇，每一个k 对应一条条纹。由上式得到条纹的斜率为： tan? ? (1 ? d 2 ) ? cot? 〔4〕 d ? cos? 1 则莫尔条纹间距w 为式〔3〕中相邻两个 k 值所代表的两直线之间的距离，其一般表达式为： 12d 2 ? d 1 2 d 2 ? d 2 ? 2d ? d ? cos? 1 2 1 2  〔5〕 当 d ? d 1 2 ? d 时，由〔5〕可得： w ? d ? 2 sin 2  〔6〕 由上式可知，当转变光栅夹角θ，莫尔条纹宽度w 也将随之转变。 假设主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距d，莫尔条纹移动一个条纹间距w。因此，莫尔条纹可以将很小的光栅位移同步放大为莫尔条纹的位移。当得到莫尔条纹相对移动的个数 N 就可以得到光栅相对移动的位移x 为： x ? Nd 线性莫尔条纹有如下主要特性： 条纹的移动与光栅的相对运动方向相对应 在保持两光栅交角肯定的状况下，使一个光栅固定，另一个光栅沿栅线的垂直方向运 动，则莫尔条纹将沿栅线方向移动。假设光栅反向运动，则莫尔条纹的移动方向也相应反向。 位移放大作用 当两光栅交角? 很小时，相当于把栅距 d 放大了 1/? 倍。当? ? 0 时 w ? ? ,称为光闸莫尔条纹。 同步性 光栅运动一个栅距d，莫尔条纹相应移动一个条纹间距。 径向圆光栅 径向圆光栅是指大量在空间均匀分布都指向圆心的刻线形成的光栅。图 2 是两只节距角 一样〔即? ? ? 1 2 ? ? 〕的径向光栅相向叠合产生的莫尔条纹。 设两块径向辐射光栅，光栅中心为o 与o 1 2  ，节距角? 一样。建立坐标系，以o o 1 2 为 x 轴，以o o 1 2 中心 o 为原点， e ? o o 1 2 节距角? 值由 x 轴起算，计算径向莫尔条纹方程 的过程与计算直线莫尔条纹方程的过程相像。光栅o 1 的栅线方程为： y ? tan(n? ) ? x ? e ? tan(n? ) 〔7〕 2 光栅o 的栅线方程为： 2 y ? tan(n? ) ? x ? e ? tan(n? ) 〔8〕 2 对光栅o 1 考虑栅线序号〔n+k〕，k 为大于 0 的任意有理数，则可将式〔7〕式改为： y ? tan[(n ? k ) ?? ] ? x ? e ? tan[