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小型精密运动平台的设计 1 现有的微驱动技术 微驱动技术是纳米操作系统的关键技术之一，在生物工程、精细加工、超精确加工和机械微机械制造方面得到了广泛应用。微电机系统（ss）。 目前, 现有的微驱动技术基本可分为四类:宏微混合式驱动 对于基于黏滑驱动原理的小型精密定位平台系统, 主要难点在于平台作动机构在压电叠堆的作动方向和预压力施加方向上的解耦, 同时为了实现运动平台的微型化, 在整体结构设计上最好做到各功能部件的一体化。由此, 本文综合国内外基于黏滑驱动的优缺点, 设计了一种结构简单紧凑的小型运动平台, 并建立了平台的静力学和动力学模型, 进行了系列的仿真和试验研究。 2 平台结构 2.1 压电叠堆的应用 本文所设计的单自由度运动平台是基于黏滑原理进行驱动的, 即利用接触面间动静摩擦相互交替来实现步进位移。如图1所示, 在平台由a变化至b的过程中, 随着电压缓慢上升, 压电叠堆逐步伸长, 进而推动前端惯性质量块以及陶瓷球向前移动, 由于陶瓷球与移动台间相对运动速度很小, 可忽略不计, 因此接触面间摩擦力可近似为静摩擦, 移动台便在陶瓷球带动下向前推进;而当由b变化至c的过程中, 压电叠堆快速收回, 惯性质量块在叠堆的带动下后退, 由于接触面间相对速度突然变大, 摩擦力由静摩擦转为动摩擦, 而移动台由于惯性保持原有的运动状态, 因此移动台整体前进了Δs的距离。在该周期信号的连续驱动下, 移动台便可以向右连续推进。同理可得, 当改变驱动信号, 由ab慢升, bc快降转为ab快升, bc慢降时, 摩擦力和移动台的运动方向也将随之改变。 在某些应用场合, 如扫描电子显微镜 (SEM) , 不仅对运动平台的尺寸、精度有要求, 同时需要平台自身无磁性。而压电叠堆所具有的响应快、分辨率高、无磁场和尺寸小等优点, 能够充分满足上述要求, 故本文采用压电叠堆作为运动平台的驱动元件。在充分考虑刚度、尺寸以及最大驱动电压和输出位移等指标的情况下, 最终采用丹麦Noliac公司型号为NAC2003的压电叠堆。该压电叠堆尺寸为5mm×5mm×2mm, 密度为7.85kg/m 2.2 复合柔性误差 定子结构如图2所示, 定子主要由压电叠堆、定子基座以及陶瓷球所构成。其中定子基座作为定子的核心组成部分, 可分为三个部分:柔性铰链、惯性质量块以及刚柔耦合弹性力传递单元。柔性铰链从功能上又可分为三种:传动柔性铰链、预压力调整柔性铰链和复合柔性铰链。其中, 传动柔性铰链主要起到传递输出位移的目的;预压力调整柔性铰链是为了配合调节预压力;而复合柔性铰链, 是对上述两种铰链的补偿。在位移传递过程中, 复合柔性铰链在传动方向的刚度过小, 会影响定子位移的输出, 从而导致平台运动性能变差;而在预压力调整过程中, 复合柔性铰链垂直于传动方向上的刚度过大, 会阻碍预压力的传递, 使调节效果变差。因此在复合柔性铰链的设计过程中, 既要保证垂直于传动方向的刚度较小, 能满足预压力的调节;在传动方向上又要具有足够大的刚度, 满足传动的需求。 在黏滑驱动中, 如果接触面两端皆呈刚性, 则“滑”将作为主体, 移动台无法运动;反之, 如果两方都呈柔性, 则“黏”将作为主体, 移动台将随定子做前后反复运动, 无法有效输出。因此设计过程中, 要保证接触面间的刚柔耦合。由于移动台在运动过程中, 同时得起到承担负载的作用, 假使移动台作为柔性体, 将改变接触面预压力, 导致工作状态改变, 移动台运动不稳定。因此本文最终采取移动台作为刚性体, 定子作为柔性体。同时, 如图2所示, 本文在定子基座底部设计了一种曲线弹性体, 作为弹性力传递单元保持垂直方向上的柔性。 平台的整体结构设计如图3 (a) 和3 (b) 所示。其中定子通过螺钉连接安装于基座底部;移动台下方则在相应位置贴有陶瓷条, 与定子前端陶瓷球配合进行驱动;基座与移动台通过交叉滚子导轨相连为整体, 并且为了防止灰尘以及电源线晃动对平台工作造成影响, 在其底部安装盖板, 最终形成完整的运动平台。此外, 通过添加导轨调整螺钉进行导轨位置的调整, 以及利用基座底部的预压力调节螺钉调节移动台与定子间的预压力, 以达到最佳的驱动方式。 3 平台整体设计参数 为了实现精密运动输出, 在平台的设计过程中, 必须对平台整体设计参数进行详细分析, 以确定例如预压力、移动台质量等对平台运动性能的影响, 从而提高平台的运动性能。 3.1 作用下的驱动 为确定压电叠堆与传动柔性铰链间的相互作用力F以及输出位移x等设计参数, 建立了平台的静力学模型。在此黏滑系统中, 定子与平台基座固连一起, 而定子前端质量块与陶瓷球在预压力作用下与移动台紧压一起, 质量块在压电叠堆作用下实现对移动台的驱动。然而压电叠堆在位移输出过程中会受到接触面间摩擦力的反作用, 造成叠堆