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超精密加工切削和磨削机理的技术发展 1. 1.1 1.1.1 精密加工的定义 精密加工和超精确加工代表了加工精度的不同阶段。由于生产技术的不断发展, 划分的界限将随着历史进程而逐渐向前推移, 过去的精密加工对今天来说已是一般加工, 因此, 其划分的界限是相对的, 并且在具体数值上至今没有准确的定义。 当前, 精密加工是指加工精度为1～0.1μm、表面超糙度为及Ra0.1～0.01μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm, 表面粗糙度小于及Ra0.025μm的加工技术, 又称亚微米级加工。但目前超精密加工已进入纳米级, 并称为纳米加工及相应的纳米技术。 1.1.2 刀具切削、磨料加工、复合加工的加工方法 根据加工方法的机理和特点, 精密和超精密加工方法可以分为刀具切削加工、磨料加工、特种加工和复合加工, 如图1所示。从图中可以看出, 有些加工方法是传统加工方法的精密化, 有些是特种加工方法的精密化。 1.1.3 加工条件 精密加工和超精密加工的发展已形成制造系统工程, 简称精密工程, 它涉及超微量去除和堆积技术、高稳定性和高净化的加工环境、计量和检测技术、工况监控及质量控制等。由此可归纳出影响精密加工和超精密加工的因素有:加工机理、被加工材料、加工工具、加工设备及其基础元部件、工件的定位与夹紧、检测与误差补偿、工作环境和人的技艺等。 由上面论述可以看出, “超精密加工切削和磨削机理研究”主要是研究刀具切削加工、磨料加工以及有关的复合加工的机理问题。 1.2 1.2.1 超精密非球面机床 超精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之一, 例如, 金刚石刀具切削刃钝圆半径是一个关键参数, 日本声称已达到2nm;美国加利福利亚大学Lawrence Livermore实验室研制的大型超精密非球面车床, 可加工尺寸为《01 625mm×500mm, 重量为1 360kg的工件, 加工精度达0.025μm、表面粗糙度达Rz0.0045μm。该机床采用精密数控激光反馈闭环系统, 分辨率为2.5nm;恒温油淋温度控制可达20±0.000 5℃。 1.2.2 超精密加工技术 现代机械制造中, 提高产品的性能、质量、稳定性、可靠性、生产率、效率、自动化程度等均有赖于精密工程, 因此, 它是先进制造技术的基础和关键。美国汽车制造业的“两毫米工程”使汽车质量赶上欧、日水平。陀螺仪经超精密加工提高一个数量级后, 在MX战略导弹上使用, 使命中精度圆概率误差由500m降低到50～150m。英国Rolls_Roycc公司将其飞机发动机转子叶片的加工精度由60μm提高到12μm、表面粗糙度由Ra0.5μm降低至Ra00.2μm, 则发动机的压缩效率有了“戏剧性改善”。当超精密加工使磁盘表面的精度提高、表面粗糙度降低, 从而使磁头与磁盘之间的“飞行高度”控制在0.3～0.15μm内时, 其记录密度将会大幅度提高。据美国IBM公司统计, 它生产的磁盘, 其记忆密度在1932年为254万bit/cm 先进制造技术是当前世界各国发展国民经济的主攻方向和战略决策, 但就其技术实质性而论, 主要是精密工程和自动化两大领域, 因为它们具有全局的、决定性的作用, 是先进制造技术的支柱。日本在二战后的经济发展, 从技术角度分析, 抓住了“技术立国”和“新技术立国”的决策, 其根本举措是精密加工, 它实实在在地提高了制造工业的水平, 并对其他工业产生了深远影响。 1.2.3 密加工的机理与技术 加工机理是研究加工方法的本质, 是加工方法成败的关键。精密加工和超精密加工机理的最高境界是加工极限, 涉及微观世界和物质内部结构, 所利用的能源包括机、光、电、声、热、化、磁等多种, 加工机理是理论基础, 有指导意义, 新的加工机理的出现标志着一种突破, 往往是新技术的生长点。 2. 2.1 我国制造业发展中超精密加工工艺的必要性 21世纪10年代需求可归纳为以下几方面: (1) 由于航空、航天、生物化学、地球物理等技术的发展, 需要更高更新的超精密加工方法, 这些方法具有高精度和高表面质量。 (2) 由于整个工业生产水平的提高, 产品质量要求越来越严格, 因此, 制造业的加工精度水平要提高一个数量级。就我国制造业来说, 普遍加工精度达到微米级。 (3) 由于产品质量的提高, 对表面微观质量提出了更高要求, 因此, 探索表面微观世界、提高表面微观质量就提到日程上来。 (4) 由于产品质量的增长和生产率的提高, 迫切要求解决当前大多数精密加工和超精密加工中效率低的问题, 因此, 寻求高效超精密加工新方法就十分必要。 (5) 由于大型精密工业产品的发展, 如大型发电机组、航天飞机、大型客机等的需求, 需要研制大型