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纳米压痕过程中不同基底对薄膜力学性能的影响 由于材料硬度的测量，采用纳米压力法具有操作范围广、破坏简单、易于实施等优点，近年来，它被广泛应用于数学、亚径材料和纳米材料的机械工程试验。有限元仿真可以在简化的实验条件下模拟压痕过程, 为科研工作者所推崇。Chen等利用ABAQUS软件模拟发现, 残余应力对块体及涂层材料的接触硬度、刚度以及压痕功影响很大, 基于逆向分析, 得到了一种推导块体及涂层材料屈服应力、弹性模量及平面残余应力的方法, 将该方法成功用于材料单轴残余应力及力学性能的推导。Khan等用实验和模拟相结合的方法研究残余应力对航天铝合金纳米压痕特性的影响, 发现压痕过程中最大加载载荷、加载曲线曲率、弹性恢复深度、最终深度、压痕功及接触面积均受残余应力影响。Wang等用实验和模拟的方法研究了残余应力对块体金属玻璃硬度的影响, 结果表明拉应力的存在使得硬度明显降低, 而压应力对硬度的影响则较小。有限元分析在解释复杂的实验现象和材料性能方面起着重要作用, 笔者采用ABAQUS 6.9.1研究不同的等二轴的残余应力状态下, 2种不同硬基底对薄膜压痕过程弹塑性变形及力学性能的影响。 1 材料的应力-应变关系和接触结构的确定 所有的材料均假设为各向同性材料, 薄膜材料认为是理想弹塑性的, 且无硬化现象发生, 其弹性模量E、泊松比ν以及初始屈服应力σy依次取为70GPa、0.3和2GPa;2种硬基底均为完全弹性材料, 弹性模量和泊松比分别取为140GPa、0.3和210GPa、0.3;薄膜材料应力-应变关系见式 (1) 。 基底材料的应力应变关系见式 (2) 。 式 (1) 、式 (2) 中, E为弹性模量, σy为材料的屈服应力。 被测试样的硬度见式 (3) 。 式 (3) 中, Pmax为最大加载载荷, 可以直接从载荷-深度曲线上得到;Ac为压头和试样的真实接触面积, 根据模型上的真实接触半径计算得到。 利用卸载曲线初始阶段的斜率来计算试样的弹性特性, 对于圆锥形压头, 试样的刚度见式 (4) 。 式 (4) 中,为卸载曲线初始阶段的斜率, P为压头对试样施加的载荷, h为压头的位移, β为与压针形状有关的常数, 这里取β=1.072, Er为约化弹性模量, R为压头和试样的真实接触半径;约化弹性模量通过式 (5) 计算。 式 (5) 中, Es、Ei、vs、vi分别为被测薄膜和压头的弹性模量和泊松比。 假设压头为刚体材料, 则认为其弹性模量无限大, 约化弹性模量的表达式可简化为式 (6) 。 2 有限元模拟及边界条件设置 主要研究了等二轴残余应力状态下, 不同硬基底对软薄膜弹塑性力学性能的影响, 并与相应的块体材料做对比, 基于商业有限元软件ABAQUS 6.9-1, 模拟了各种材料的纳米压痕过程。块体材料厚度为21μm, 膜基系统基底厚度为20μm, 薄膜厚1μm。膜/基材料及块体材料采用相似的网格划分方式, 网格化的模型都有大于5000个单元;由于压痕区域相对于整个模型而言很小, 故只需要将压痕区域的网格细化, 以保证结果的精确性, 离压痕区较远的区域采用大网格划分, 对测试结果没有影响。基于压头及材料形状以及施加载荷的对称性, 将三维模型简化为轴对称的二维模型, 建立的有限元模型见图1。锥形压头的半锥角θ为70.3°, 这样得到的面积函数与Berkovich三棱锥压头以及Vickers四棱锥压头时相同。由于压痕过程中试样变形以及应变较大, 故将整个过程设为非线性, 将锥形压头定义为解析刚体, 薄膜和基底认为是完好结合, 即不出现分层以及相对滑动。在模型对称轴处施加X方向约束的边界条件, 试样底部施加固定约束的边界条件。预先加入2GPa和-2GPa的等二轴残余应力, 通过先设定材料的热膨胀系数 (通过假设的方法) , 再对试样施加合适的边界条件以及改变温度场来实现。压头表面和试样之间认为是无摩擦的, 压痕过程中对压头依次施加100、125、150、175、200、225、250、275、300nm的位移载荷, 然后卸载, 分别研究不同压入深度下基底以及应力状态对薄膜力学性能的影响, 并与相应的块体材料进行比较。为了更加精确的表达压痕过程中出现的pile-up及sink-in现象, 在建模时采用八节点的轴对称单元, 这样得到的结果比四节点轴对称单元更可靠。 3 结果与讨论 4 结论 3.1基底对载荷-深度曲线的影响 3.3基底对pile-up及sink-in的影响