振镜延时的调节与现象.docxVIP

精心整理 振镜延时的原理与调理 一共有5种延时分别为开光延时,关光延时,跳转延时,扫描延时,曲线延时下边分别介绍1．LaserOnDelay（开光延时）下边称LOnD LOnD的作用原理和发生时间 LOnD发生在开光时 当振镜抵达指定地点后开始  Mark  运动，但其实不一样时出光而是延时 表示图  LOnD  后出光 图1开光延时 这个值能够设为负值当设置为负值表示当振镜抵达指定地点后先出光LOnD 动 b.设置值的单位 这个值在Scanlab和Raylase单位都为奇妙（us） 可是在Raylase中此值的绝对值不可以低于50, 在Scanlab无此限制 c.设置过大或许过小时的情况  后再开始  Mark  运 设置LOnD过小时能够看到开光处产生了爆点(产生此情况的原由是因为振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光致使激光在开始处齐集致使爆点) 图2开光延时太小 设置LOnD过大时能够看到开光处有一部分少刻了(产生此情况的原由是因为振镜开始运动而 LOnD过大过了好久再出光致使激光刻蚀时已经走开开始点很远致使有一部分少刻了) 图3开光延时太大 LOnD设置一般和激光的开光状态有关一般假如激光开光状态能量较强则 相应的增大一些 2．LaserOffDelay（关光延时）下边称LOffD a.LOffD的作用原理和发生时间 LOffD发生在关光时 当振镜刻蚀抵达指定地点后要结束Mark运动，但其实不一样时关光而是延时 表示图  LOnD设置也需要 LOffD后关光 图4关光延时 这个值能够设为负值当设置为负值表示当振镜还未抵达指定地点前LOffD的时候已经将光关 闭即提早关光 b.设置值的单位 这个值在Scanlab和Raylase单位都为奇妙（us） 可是在Raylase中此值的绝对值不可以低于50, 在Scanlab无此限制c.设置过大或许过小时的情况 设置LOffD过小时能够看到关光处少刻了一段(产生此情况的原由是因为振镜结束运动时因为指令和运动有时间差,即指令以为已经到位但实质还未到到位,而LOffD又过小这时候关光致使 激光在结束处少刻一段) 图5关光延时太小 设置LOffD过大时能够看到关光处产生爆点(产生此情况的原由是因为振镜结束运动时,振镜 已经到位,而LOffD又过大这时候还未关光致使激光在结束处产生爆点) 6 LOffD的设置一般和扫描速度有关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大 精心整理 3．JumpDelay（跳转延时,快跳延时）下边称JumpD JumpD的作用原理和发生时间JumpD发生在振镜跳转后 当振镜跳转到指定地点后延时JumpD的时间再开始其他运动 表示图 图7跳转延时 这个值不可以够设为负值 b.设置值的单位 这个值在Scanlab中单位为10奇妙（10us）即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为奇妙（us）即设置1代表1us可是最小值是50 c.设置过大或许过小时的情况 设置JumpD过小时能够看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳固的现象产生(产生此情况的原由是因为振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳固,而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳固状态致使此现象发生) 图8跳转延时太小 设置JumpD过大时不会有不稳固的现象产生可是会影响效率 JumpD的设置一般和振镜快跳速度有关一般的假如振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大4．MarkDelay（扫描延时）下边称MarkD MarkD的作用原理和发生时间 MarkD发生的条件是:在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD,即振镜刻蚀到指定地点后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生 MarkD 表示图 图9扫描延时 这个值不可以够设为负值 b.设置值的单位 这个值在Scanlab中单位为10奇妙（10us）即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为奇妙（us）即设置1代表1us可是最小值是50 c.设置过大或许过小时的情况 设置MarkD太小时能够看到还没到刻蚀的终点地点就直接开始下一段Jump运动了致使关光处出现拐角(产生此情况的原由是因为振镜理论地点和实质地点存在时间差,理论上运动已经到 位但实质还未到位,而MarkD又过小这时候下一段Jump运动已经开始致使此现象发生) 图10扫描延时太小 设置MarkD过大时不会有不稳固的现象产生可是会影响效率 MarkD的设置一般和振镜扫描速度有关一般的假如振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大 5.PolyDelay（拐角延时,转角延时,曲线延时）下边称PolyD a.PolyD的作用原理和发生时间 PolyD发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动履行完成后等