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接触轮廓测量仪误差校正的数学模型 1 误差分析和数学模型的建立 非球面轮廓测量是非球面镜子生产过程中的一项重要技术。传统的测量方法对镜子的放置有极严格的要求。镜子中心与探测头零点间微小的偏移, 镜子轴线与测量仪旋转平台的不垂直等因素都会造成很大的测量误差;测量时提供的镜子的曲率半径与实际镜子的曲率半径往往有很小的偏差, 也会影响测量结果;另外, 在实际工程应用中发现, 轮廓仪的零点会在某一极小的范围内波动, 这一因素在三维轮廓的测量中造成的误差会直接影响测量结果的重复性。对位置放置所造成的误差, 传统的方法是在测量过程中尽可能地调整镜子中心位置与探测头零点相一致, 然后对测量结果做去倾斜处理。这一方法在精度要求不高的测量过程中可勉强应用, 但这一方法在每次测量时, 都要花大量时间来调整镜子, 且因为镜子中心与探测头中心不可能严格一致, 所以测量精度不能达到很高。对曲率半径不准确这一点, 实际应用中经常的做法是人工调整这一半径, 由主观判断来找到一个合适的曲率半径。这一方法不但增加了测量的时间, 同时使测量结果带有一定的主观性。对轮廓仪的零点会在某一极小的范围内波动这一点, 普通的轮廓测量中都会忽略这一误差, 但随着测量精度的提高, 这一误差是不可忽略的。在某些高精度的测量仪中, 采用每次测量前重新校正零点的方法来提高测量精度, 但这一方法显然会增加测量过程的复杂性。 为解决上述问题, 本文对接触式非球面轮廓测量仪进行了较为全面的误差分析, 以确定上述因素会造成什么样的测量误差;在此基础上, 以最小二乘法为基本理论, 找到了一种能同时校正镜子的位置误差, 曲率半径误差及轮廓仪的零点漂移误差的数学模型。通过数学模拟和实际工程应用二个途径验证了模型的有效性。模型对高精度接触式非球面轮廓的测量具有极大的帮助, 同时对非接触式轮廓测量过程中的数据处理也具有较高的参考价值。 2 测量结果的误差 接触式三维轮廓仪的工作原理如图1所示。整个系统主要由三部分组成:水平导轨、旋转平台和探测头。通过水平导轨的水平移动与旋转平台的旋转可测量被测物体的三维轮廓数据。其三维数据的测量过程可简述如下: 首先, 探测头在水平导轨上的位置归零, 即把探测头移动到图1的X-Z坐标系的原点;然后把被测物体放置于旋转平台的中心位置;最后把探测头向X负方向移动一个距离r, 旋转平台顺时针转动一个角度θ, 这时探测头可测量被测物体在图1的X′-Y′-Z′坐标系统中坐标 (r·cos (θ+180) ,r·sin (θ+180) ) 处的值 (这里假定旋转平台的旋转中心与水平导轨的零点重合) 。通过选取不同的r和θ, 就能测量被测物体任一坐标点处的值, 从而完成被测物体三维轮廓的测量。 利用上述接触式三维轮廓测量仪测量物体的三维轮廓时, 除去仪器本身固有的不可校正的误差, 如探测头的测量精度, 导轨的定位精度外, 还有许多由于测量过程中人为的因素或仪器本身固有但是可校正的误差, 主要包括:探测头在水平导轨上的移动轨迹并非是一条直线;测量物体的中心与旋转平台的旋转中心之间的偏差;被测量物体与X′轴及与Y′轴之间存在一定的角度;探测头在X轴上的零点与旋转中心之间存在的微小偏移;探测头具有一定的大小, 一般为一半球, 这一结果造成探测头与被测物体的接触点并不在理想位置, 从而引起测量误差;提供的曲率半径不准确也会影响最后的测量结果。这些误差可简述如下: (a) 水平导轨引起的测量误差 由于探测头所处的移动导轨不可能完全是一条直线, 所造成的后果是测量的基准值在不同的位置是不同的。这一误差所造成的实际测量结果是:测量一个标准平面上的一条直线时, 测量的数据并非是一条直线, 而是一条有起伏的不规则曲线。 这一误差虽然很严重, 但由于导轨的误差比较固定, 所以是可以校正的。方法是测量一个标准平面上的一条直线, 测量数据理论上应当是一条直线, 所以测量数据中在某一位置x处偏离直线的数值即是导轨在x处的误差。记录下这一数值, 以后在相同位置x处的测量值都减去这一值即可校正这一误差。 (b) 测量物体位置放置不精确所造成的误差 假定测量物体在X′-Y′-Z′坐标系统中的理论曲面方程为: Z′=f(x′,y′) , (1) 现在由于放置位置不准确, 使测量物体的中心不在坐标原点。现假设实际的位置为 (x0′,y0′) , 则轮廓仪测量的位置 (x′,y′) 处的值实际上是物体 (x′-x0′,y-y0′) 处的值。测量误差为: Δ=f(x′,y′) -f(x′-x0′,y′-y0′) (c) 测量物体与测量坐标系之间存在的倾斜角度引起的误差 假定测量物体在X′-Y′-Z′坐标系统中与X′轴之间有一个角度α, 与Y′轴之间有一个角度β, 如图2所示 (注:由于本文的处理均在X″-Y