芯源微-市场前景及投资研究报告-前道Track龙头优势，研发化学清洗.pdf

半导体设备 芯源微（688037.SH） 买入-A(首次) 前道Track突围确立龙头优势，研发化学清洗布局业绩新增长点 2023 11 7 / 年 月 日 公司研究深度分析 公司近一年市场表现 投资要点：  涂胶显影国内龙头，前道突围业绩亮眼。公司深耕半导体专用设备领域 20 年，主要产品包括光刻工序涂胶显影设备以及单片式湿法设备前道。受益 于下游规模扩张及设备 ，同时公司产品竞争力不断增强，销量连续 攀升，2019-2022 年营收CAGR 高达87%。  行业周期筑底，产能扩张+先进工艺+ 驱动设备景气度延续。受 下游需求不振影响，2023 年设备市场规模预计为874亿美元，2024 年有望恢 复向好，市场规模约为1,000亿美元。晶圆扩产提振设备需求，先进封装扩 容后道市场规模，叠加制造工艺革新提高设备投资额，以及“卡 ”局面 市场数据：2023年11月7 日 升级强化 逻辑，三维驱动保障设备市场景气度延续。 收盘价（元）： 151.37  涂胶显影： 利好份额提升，技术突破巩固龙头地位。涂胶显影 总股本（亿股）： 1.38 机是光刻工序重要配套设备，性能直接影响图形质量。全球市场长期由日商 流通股本（亿股）： 1.38 垄断，东京电子2022 年市占率为89%。2023 年中国市场规模约18亿美元， 流通市值（亿元）： 208.63 国产化率不足10%具有广阔提升空间。公司是国内目前唯一量产前道涂胶显 影设备的企业，已完成在晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点全覆盖。随着 核心技术不断突破，公司市场份额有望受益 持续提升。 基础数据：2023年9 月30 日  单片湿法：物理赛道确立领先优势，化学清洗打开成长空间。清洗步骤 每股净资产（元）： 16.90 占比芯片制造30%以上工序，湿法清洗是业内主流技术路线。中国清洗设备 每股资本公积（元）： 12.40 市场规模约150亿元，国产化率约为30%。公司在物理清洗赛道已确立领先 每股未分配利润（元）： 3.23 优势，并积极研发空间数倍于物理赛道的化学清洗，打造业绩新增长点。 资料 ：最闻 盈利预测、估值分析和投资建议：预计2023-2025 年，公司归母净利润分别 为2.78/4.07/6.01 亿元，EPS 分别为2.02/2.95/4.36 元，对应2023 年 11月7 日 收盘价151.37元，2023-2025 年PE 分别为75.1/51.3/34.7。首次覆盖，