MEMS及RFMEMS技术分析和总结.docxVIP

MEMS 及 RFMEMS 技 术

随着微机电技术的广泛应用和推广，针对专有领域的微机电技术也相应的出现，通常在MEMS前加以Inertial-, Optical-, Bio-, RF-,Power－等前缀来体现微机电技术的不同应用领域。射频微机电系统(RadioFrequencyMicro-Electro-MechanicalSystem,即RFMEMS)就是利用微机电技术制作各种用于无线通讯的射频器件或系统，是通信系统对更商频率俙求产生的，是微机电技术的觅要应用领域之一r41。 射频微 机电系 统具有微型机电系统的优点，在军事及通信等觅要领域，因特殊俙求，福要一些功耗低、小型化且能与外围射频电路集成的微器件，在射频电路中的电感、电容、滤波器、移相器、开关都可以用微机电器件进行功能替换进而实现设备的小型化，这样不仅消除了制约器件发展的的尺寸瓶颈，也以能更小的尺寸更高的可靠度嵌入到各种电子设备中I51.

RFMEMS器件主要分两大类无源RFMEMS器件和有源RFMEMS器件。无源RFMEMS器件包括微机械传输线、微机械电感、微机械滤波器等．有源RFMEMS器件包括开关、调诸器、可变电容等。未来的研究中，除了使现有器件成熟和实用化外，将在已有的电感、电容等无源器件集成在同一衬底上，或将无源器件和有源电路进行集成。采用MEMS技术制造的无源器件能够直接和有源电路集成在同一芯片内，实现射频系统的片内商集成，消除由分立元件带来的寄生损耗，真正做到系统的高内聚，低耦合，能显著提高系统的性能[61?

2RFMEMS开关的研究意义

RFMEMS开关是RFMEMS技术非常觅要的一个应用领域，也是射频MEMS器件中的核心研究应用之一。无线通信，航天技术，卫星通信的发展，对工作在关键设计处的开关提出了更高的要求，不仅要求其可靠度高，速度快，对其体积，频带等都具有了严格的要求．而RFMEMS开关是指工作在微波频率范围内的微机械开关，利用力学运动来控制射频信驾的通与断，以其高隔离度，低插入损耗，线性度高以及低成本等优点，成为通信领域中关键的原件之一，它是构成MEMS可变电容、滤波器、诸振器、移相器的基础风

RFMEMS开关是工作在射频到亳米波频率的微机械开关，依靠机械移动实现对传输线的通断控制。传统的二极管和晶体管虽然容易增加尺寸以适应高功率的应用，但是在较宽的RFMEMS功率范围作精确比较是困难的。而且增加尺寸对开关隔离度、插入损耗、开关速度和功耗有觅要影晌．显然，由于MEMS开关有极低的up态电容（串联式）和较高的电容比（电容接触式），因此，它在低到中功率应用中，远比用固体开关优越[81?

表 I.I是RFMEMS开关比传统的半导体开关PIN、FET在性能上的比较，从表中百出RFMEMS开关与传统的半导体开关相比，具有如下优点

(I)几乎是零损耗 静电驱动而要20-80V的电压，但是开关在周期里而要的电流很小，几乎为零，这就造成了很低的能扯损耗（每个开关周期中消耗10-!00nJ的能扯）．

高的隔离度 RFMEMS串联开关由于在电极与传输线间留有实质性的空气带，从而

有很低的关态电容(2~4fF)，在O.l-40GHz范围内有很高的隔离度．

低的插入损耗 消除了半导体中扩散电阻，极大地减少了器件的电阻损耗，从而具有很小的插入损耗(40GHz时约为0.1dB).

低的互调分扯 由于没有半导体的PN结，RFMEMS开关的1-V表现出高度的线性，

具有很低的互相调制分掘．

低的成本 MEMS开关是利用表面微机械技术制作的，可以制作在石英玻瑚、高阻硅、

GaAS基底等材料上，可进行批掘生产，降低成本．

表1.1 RFMEMS开关和FET、PIN二极管开关的比较

参数

RFMEMS

PIN

FET

电压[V]

20-80

。

土3~5

3~5

。

电流[nlA]

3~20

功耗[mW]

0.05-0.1

5-100

0.05-0.1

开关时间

1-300 s

1-IOOns

l~IOOns

C气串联）ff［]