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东兴证券深度报告P3

光刻机行业：国之重器，路虽远行则将至

目录

1.光刻机：半导体核心设备，目前国产化率仅2.5%5

1.1光刻机是半导体核心设备，目前主流光刻机分为i-Iine、KrF、ArF、ArFi、EUV五大类5

1.2光刻机产业链非常复杂，市场被海外厂商ASML,Nikon和Canon垄断8

2.复盘海外龙头ASML成长之路，我们得到哪些启示？12

2.1ASML：四十载砥砺前行，成就全球光刻机龙头12

2.2内生外延：研发投入不断加码，通过产业链上下游收购不断拓宽护城河15

2.2.1不断投入，ASML具有丰富的光刻机产品线15

2.2.2通过产业链上下游收购不断拓宽护城河18

3.享受半导体行业发展红利，国产光刻机有望实现技术突围21

3.1上海微电子：国产光刻机巨头，SSX600系列光刻机较具代表性22

3.2炬光科技：深耕激光元器件，激光雷达、泛半导体、医疗健康多产业布局23

3.3茂莱光学：领军国内工业级精密光学，实现九项核心技术产业化24

3.4福晶科技：光学晶体龙头，提供“晶体+光学元件+激光器件”一站式服务25

3.5波长光电：国内激光光学元件的主要供应商，以先进的光刻技术助力半导体产业发展26

4.投资建议28

5.风险提示28

相关报告汇总29

插图目录

图1：掩膜光刻机工作原理5

图2：光刻机内部结构及工作原理5

图3：半导体主要工艺流程6

图4：通过掩模曝光和镜头聚焦6

图5：光刻机可分为无掩膜光刻机与掩膜光刻机7

图6：光刻机行业产业链8

图7：全球光刻机行业市场规模持续增长9

图8：2022年全球光刻机销量KrF、i-Line占比约71.5%10

图9：2022年ASML、Nikon、Canon光刻机市场份额占比11

图10：上海微电子为国产光刻机龙头12

图11：PAS5500产品结构图13

图12：ASML第一台光刻机NXE310014

图13：ASMLHighNAEUV光刻机：TWINSCANEXE:500014

图14：ASML发展历程15

图15：ASML具有丰富的光刻机产品线16

图16：ASML2019-2023年营业收入持续增长17

图17：ASML2019-2023年净利润快速增长17

图18：ASML2019-2023年研发投入持续增加18

敬请参阅报告结尾处的免责声明东方财智兴盛之源

P4东兴证券深度报告

光刻机行业：国之重器，路虽远行则将至

图19：一系列并购对ASML的价值产生了正向反馈19

图20：ASML同产业链上下游企业建立深度合作20

图21：ASML未来十年NXE、EXE系统创新路线图20

图22：上海微电子主要光刻机产品系列23

图23：炬光科技主营业务及在产业链中位置24

图24：茂莱光学发展历程及产品应用领域25