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2025年化合物半导体的外延生长设备项目效益评估报告.docx

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    项目效益评估报告/专业报告

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    项目效益评估报告/专业报告

    化合物半导体的外延生长设备项目效益评估报告

    目录

    TOC\h\z1061概论 3

    11391一、环保分析 3

    25886(一)、建设期环境影响 3

    14060(二)、营运期环境评价 5

    23667(三)、环境管理与控制 7

    12606(四)、环境改善与建议 8

    24620二、工艺技术分析 10

    4903(一)、企业技术研发分析 10

    9171(二)、化合物半导体的外延生长设备项目技术工艺简要分析 11

    31265(三)、质量管理体系

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