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电子级锗烷标准修订发展报告

摘要

本报告旨在阐述电子级锗烷标准修订项目的立项目的、意义、范围及主要技术内容。电子级锗烷作为集成电路领域的关键高纯气体材料，其质量直接关系到半导体产业的进步和国家战略需求。随着技术进步和市场需求的变化，现行标准（GB/T31987-2015）已无法满足现代集成电路产业的要求。通过修订标准，将优化技术要求、试验方法及安全规范，提升我国电子材料的自给能力和国际影响力，推动产业高质量发展。

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要点列表

-电子级锗烷是集成电路领域的重要基础材料，需符合国家高质量发展规划。

-现行标准已执行近9年，技术内容滞后，亟需修订以适应产业进步。

-修订内容涵盖技术要求、采样方法、检验规则、安全信息等关键方面。

-项目旨在提升电子材料自给能力，服务国家战略并推动半导体产业发展。

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目的意义

电子级锗烷作为集成电路技术中用量大、纯度要求高的基础材料，具有极佳的性能，是国家重点鼓励发展的产品和产业。其发展符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中关于制造业高端化材料标准的要求，同时被列入《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》的“特种气体”类别。随着集成电路技术的快速进步，对电子级锗烷的质量提出了更高要求。现行标准（GB/T31987-2015）已实施近9年，其适用范围、技术要求及试验方法等内容均无法满足当前产业需求，亟需修订。通过本次标准修订，将为生产和检测提供科学指导，保障下游半导体产业的质量与安全，提高我国高端电子材料的自给能力，推动电子相关产业技术进步，扩大高纯电子材料的国际影响力，有效服务于国家战略需求。

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结论

电子级锗烷标准修订项目是响应国家高质量发展战略和集成电路产业需求的重要举措。通过更新技术要求、优化试验方法并完善安全规范，修订后的标准将显著提升电子级锗烷的质量控制水平，为半导体产业提供可靠保障。该项目不仅有助于推动我国电子材料产业的自主创新与技术进步，还将强化我国在全球高端材料市场中的竞争力，为实现国家科技自立自强和产业升级奠定坚实基础。