气敏性能衡量指标与影响因素研究文献综述
1.1气敏性能衡量指标
随着气体传感器的飞速发展,其在越来越多的地方被需要,对其性能需求的种类也越来越多,而气体传感器的核心元件——半导体材料不是万金油,它的气敏性能不可能面面俱到。例如,易于与被测气氛发生反应的元件,并不适用于需要长时间检测的场合;再例如,容易与被测气氛中除待测气体之外的气体发生反应的元件,并不适合在此被侧气氛下工作。因此在很多情况下,我们都要对器件的性能进行衡量比对,选择出相对来说性能更优、更适合应用场合的器件,气敏性能衡量指标也就应运而出,它们可以对气敏元件的性能进行更好的描述,使气敏元件性能的比较变得更容易。目前常用的几个气敏
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