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配方研磨抛光工序用研磨液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
去离子水
电导率小于10
68.4
76.2
70
74.5
聚乙二醇
25
15
20
16
聚乙二醇
工业级的150
2
2
2
工业级的400
3
15
3
3
磷酸酯
工业级的LP700水溶性磷酸酯
1.5
—
1.2
1.3
工业级的ASI?80水溶性磷酸酯
—
1.0
—
—
羧酸胺
十二碳二元酸醇胺
2
2.5
2.3
2.2
非离子表面活性剂
工业级的NP?7
3
—
1.3
1.0
工业级的NP?10
—
3
—
—
植物油酰胺
工业级的二乙醇酰胺(6501)
3
—
2
1.2
工业级
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