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公司光刻工设备安全操作规程

文件名称：公司光刻工设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司光刻工设备操作人员。适用于光刻工设备日常使用、维护和保养等场景。操作人员应熟悉本规程，并严格遵守以下基本规定：

1.操作前，须了解设备性能和操作程序；

2.确保操作环境安全，无火源、易燃物等危险因素；

3.严格遵循设备操作手册和相关规定；

4.定期检查设备，确保设备运行正常；

5.如遇设备故障或异常情况，应立即停止操作并报告上级。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

a.操作人员必须佩戴符合国家标准的安全眼镜，以防化学物质溅入眼睛。

b.根据操作要求，佩戴适当的防护手套，确保手部安全。

c.长发操作人员应将长发束起，避免长发卷入设备。

d.操作过程中，不得佩戴饰品，如手表、戒指等，以防设备损坏或造成伤害。

e.根据需要，佩戴防尘口罩或呼吸器，以防止吸入有害气体或粉尘。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观，确保无破损、裂纹等异常情况。

b.检查设备电源线、电缆、插头等，确保无裸露、破损现象。

c.检查设备各部件连接是否牢固，如螺丝、螺母等。

d.检查设备冷却系统，确保冷却液充足，冷却风扇运转正常。

e.检查设备光学系统，确保镜头、光栅等无污染、无划痕。

f.检查设备操作面板按键、旋钮等，确保功能正常。

3.作业区域的准备要求：

a.作业区域应保持整洁，无杂物、油污等。

b.作业区域地面应平整，无积水、滑倒等安全隐患。

c.作业区域应配备足够的照明设施，确保操作人员视线清晰。

d.作业区域应设置警示标志，提醒操作人员注意安全。

e.作业区域应配备消防器材，如灭火器、消防栓等。

f.作业区域应配备急救箱，并定期检查药品的有效期。

g.作业区域应设置通风设备，确保空气流通，降低有害气体浓度。

操作人员应严格按照上述要求进行操作前的准备，确保操作过程安全、高效。如有特殊情况，应立即停止操作，并向相关部门报告。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.操作人员应首先确认设备处于待机状态，并检查所有安全防护装置是否正常。

b.按照设备操作手册的指示，依次开启设备电源，启动冷却系统。

c.根据工艺要求，设置光刻参数，包括曝光时间、光栅位置、光强等。

d.安装光刻掩模，确保其位置准确无误。

e.按下曝光按钮，启动光刻过程。

f.光刻完成后，关闭设备电源，等待设备冷却。

g.取下光刻掩模，检查光刻效果。

h.清理设备，准备下一次操作。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于高精度光刻，操作人员需进行多次预实验，确保参数设置准确。

b.在进行光刻敏感材料处理时，操作人员需佩戴防护服和呼吸器，避免材料接触皮肤或吸入有害气体。

c.对于需要高温处理的工序，操作人员需确保设备温度控制系统稳定可靠，避免过热或温度波动。

d.在进行光刻胶去除等化学处理时，操作人员需佩戴防护手套和眼镜，并确保通风良好。

3.异常工况的处理方法：

a.如发现设备异常噪音或过热，应立即停止操作，关闭电源，检查设备冷却系统。

b.若光刻效果不达标，应先检查掩模和设备光学系统，必要时进行清洁或调整。

c.在操作过程中，如出现设备故障，应立即停止操作，并按照设备故障处理流程进行维修。

d.如发现设备泄漏或有有害气体释放，应立即关闭设备，撤离作业区域，并报告上级。

e.在处理任何异常情况时，操作人员应优先考虑自身安全，并遵循紧急疏散程序。

操作人员应熟悉并严格遵守上述操作流程和规范，以确保光刻工艺的顺利进行和操作人员的安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.温度：设备运行温度应保持在设备操作手册规定的范围内，通常在20°C至30°C之间。

b.噪音：设备运行时应保持稳定的噪音水平，不应有异常的轰鸣声或尖锐噪音。

c.电流：设备运行时，电流应稳定，不应有大幅波动，电流表读数应与设备手册上的推荐值相符。

d.电压：设备运行电压应稳定，波动范围应控制在±10%以内。

e.光强：曝光设备的光强应稳定，且符合工艺要求，光强稳定器应保持正常工作状态。

f.压力：对于涉及压力的设备，如真空泵等，压力应维持在设备操作手册规定的正常工作范围内。

2.典型故障现象：

a.设备过热：可能导致设备性能下降，甚至损坏，表现为温度异常升高。

b.噪音增大：可能由轴承磨损、电机故障等原因引起。

c.电流异常：可能由电路问题、电机故障等导致。

d.电压波动：可能由电源