用于硬盘NiP的电化学机械抛光的抛光液.doc

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原料配比

原料

配比(质量份)

1#

2#

3#

4#

乳酸

3

4

8

柠檬酸

6

氯化钾

0.5

1

硝酸钾

1

0.5

乙二胺

1

EDTA

1

1

1

十二烷基硫酸铵

0.1

0.1

0.1

0.1

余量

余量

余量

余量

KOH

2.5

5

2.5

6

制备方法将上述各组分按照比例进行混合、搅拌使各种物质在水中完全溶解,然后用KOH调节到所需要的pH值即可。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为:酸1~8、钾盐0.5~1、络合剂0.1~2、表面活性剂0.01~0.

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