镁铝合金材料表面化学机械抛光液.doc

镁铝合金材料表面化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

粒径为30~50nm的硅溶胶

2000

2400

18MΩ超纯水

1880

1490

FA/O活性剂

40

40

FA/O螯合剂

40

40

乙醇胺

40

－

四羟乙基乙二胺

－

30

制备方法

（1）将SiO2的质量百分比浓度为40~50％、粒径为30~50nm的硅溶胶加入到透明密闭反应器中，对透明密闭反应器抽真空使反应器内成负压完全涡流状态，形成完全涡流搅拌，并在完全涡流搅拌的作用下边搅拌边在负压的作用下抽入电阻为18MΩ以上的超纯水，得到稀释的硅溶胶溶液；

（2）边进行完全涡流搅拌边将表面活性剂、FA/O