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用于介质材料平坦化的抛光液.doc

用于介质材料平坦化的抛光液.doc

    用于介质材料平坦化的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    8#

    9#

    10#

    磨料

    二氧化硅溶胶（100nm）

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    促进剂

    硝酸钾

    －

    0.2

    0.2

    2

    0.2

    2

    0.2

    0.2

    0.2

    0.2

    表面

    活性剂

    单烷基三甲基氯化铵

    －

    －

    200ppm

    200ppm

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    聚乙二醇200

    －

    －

    －

    －

    200ppm

    200ppm

    200ppm

    200ppm

    200ppm

    200ppm

    多元

    脂肪醇

    丙三醇

    －

    －

    －

    －

    －

    1

    5

    1

    －

    －

    乙二醇

    －

    －

    －

    －

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