原创力文档用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
粒度100nm的纳米SiO2磨料
4
－
－
－
－
粒度120nm的纳米SiO2磨料
－
5
－
－
－
粒度140nm的纳米SiO2磨料
－
－
6
－
－
粒度160nm的纳米SiO2磨料
－
－
－
7
－
粒度200nm的纳米SiO2磨料
－
－
－
－
8
有机溶剂
聚乙二醇
93.9
－
－
－
32
乙二醇
－
86.9
－
50
20
丙三醇
－
－
81
33
20
有机碱
三乙醇胺
0.1
－
－
2
10
四羟乙基乙二胺
－
8
8
－
－
表面活性剂
0π-7
2
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