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浅沟槽隔离抛光液.doc

浅沟槽隔离抛光液.doc

    浅沟槽隔离抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    表面活性剂OP-10

    3

    －

    表面活性剂TX-10

    －

    3.2

    氧化铈

    40

    40

    三乙胺

    2

    －

    乙二胺四乙酸

    2

    －

    二异丁基胺

    －

    2

    柠檬酸

    －

    2

    聚羧酸

    1.5

    －

    聚酰胺

    －

    1.5

    水

    50

    50

    制备方法向水中加入表面活性剂、混合搅拌，把氧化铈缓慢加入含表面活性剂的水溶液中，并搅拌均匀后静置4小时以上，再在搅拌情况下缓慢加入PH调节剂、螯合剂，加入聚羧酸混合搅拌，用PH调节剂调节PH在4~5范围，过滤净化后包装。

    原料配伍本品各组分质量份配比范围为：氧化铈磨料1~50、PH调节剂0.2~10、螯合剂0.

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