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用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液.doc

用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液.doc

    用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    10~30nm的二氧化硅胶体

    20

    5

    5

    －

    40nm的二氧化钛

    －

    4

    －

    －

    80nm的二氧化铈

    －

    －

    2

    5

    硅烷聚乙二醇醚

    －

    －

    －

    0.5

    聚乙二醇醚

    －

    0.1

    0.3

    －

    十二烷基乙二醇醚

    0.2

    0.1

    －

    －

    聚二甲基硅烷

    50ppm

    50ppm

    50ppm

    50ppm

    异构噻唑啉酮

    10ppm

    10ppm

    10ppm

    10ppm

    异丙醇

    0.03

    0.03

    0.03

    0.03

    去离子水

    余量

    余量

    余量

    余量

    制备方法将各组分混合，使用磁力搅拌机搅拌均匀即可。

    原料配伍

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