CN111998932B 一种石墨烯波纹膜光纤fp声压传感器及其制作方法 （北京航空航天大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN111998932B公告日2021.06.29

(21)申请号202010771739.8

(22)申请日2020.08.04

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111998932A

(43)申请公布日2020.11.27

(73)专利权人北京航空航天大学

地址100191北京市海淀区学院路37号

(72)发明人李成刘欢肖习刘宇健

(74)专利代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司11251

代理人杨学明贾玉忠

(51)Int.CI.

GO1H9/00(2006.01)

CN

103994851

A,2014.08.20

CN

109029687

A,2018.12.18

CN

105987784

A,2016.10.05

CN

105092122

A,2015.11.25

CN

102121860

A,2011.07.13

WO2012090210A1,2012.07.05

李成等.基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析.《仪表技术与传感器》

.2021,(第1期),第123-126页.

LiChengetal..Anultra-high

sensitivityFabry-Perotacousticpressure

sensorusingamultilayersuspendedgraphenediaphragm.《2015IEEE

Sensors.Proceedings》.2015,第1-4页.

ChengLietal..Analyzingthe

applicabilityofminiatureultra-high

sensitivityFabry-Perotacousticsensor

usingananothickgraphemediaphragm.

《Meas.Sci.Technol.》.2015,第26卷(第8期),第1-7页.

审查员伊慧贞

权利要求书2页说明书5页附图2页

(56)对比文件

CN103557929

CN106908092

CN111239909

CN106644039

CN107911782

CN109781625

A,2014.02.05

A,2017.06.30

A,2020.06.05

A,2017.05.10

A,2018.04.13

A,2019.05.21

(54)发明名称

一种石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器及其制作方法

(57)摘要

Z86866IIINO本发明公开了一种石墨烯波纹膜光纤F-P (Fabry-Perot)声压传感器及其制作方法，包括 单模光纤(1)、光纤插芯(2)和石墨烯波纹膜(3)。 所述的声压传感器以波纹状石墨烯膜为压力敏 感单元，利用单模光纤传导激光，基于光纤F-P干 涉原理，实现薄膜挠度形变的高灵敏度探测。所m述的石墨烯波纹膜相对于传统的圆平膜片，具有

Z86866IIINO

波纹状结构，因膜内应力释放，可有效提高薄膜压力-挠度特性。本发明所述的声压传感器具有结构简单、体积小、高灵敏度、抗电磁干扰等优点，在航空航天、噪声测量、语音交互等声学探测领域具有重要的研究意义和应用价值。

CN111998932B权利要求书1/2页

2

1.一种石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器的制作方法，其特征在于：该传感器的制作方法包括以下步骤：

步骤1.传感器组件选型：选用石墨烯膜、光纤插芯、单模光纤、粘合剂；其中，所述的光纤插芯可为陶瓷插芯或玻璃毛细管；所述的石墨烯膜可为铜基、镍基或一步转移法制备而成的石墨烯膜，其厚度可为单层或多层，并通过步骤2完成石墨烯波纹膜的制备；所述的粘合剂可为环氧树脂胶或UV胶；

步骤2.所述的石墨烯波纹膜制备过程为：首先，在清洁的硅片上旋涂一层光刻胶，经过光刻工艺制成凹槽形波纹基底；其次，同样采用光刻工艺，在硅片上制作一个与凹槽形波