CN110265228B 一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法 （北京理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN110265228B公告日2021.07.13

(21)申请号201910465407.4

(22)申请日2019.05.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110265228A

(43)申请公布日2019.09.20

(73)专利权人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

(72)发明人姜澜原永玖李欣

(74)专利代理机构北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)11639

代理人邬晓楠

(51)Int.CI.

HO1G11/30(2013.01)

HO1G11/32(2013.01)

H01G11/46(2013.01)

H01G11/86(2013.01)

H01G11/22(2013.01)

(56)对比文件

CN106098410A,2016.11.09

WO2018039710A1,2018.03.08

张晨初.基于空间光调制技术的高速高分辨飞秒激光加工.《中国博士学位论文全文数据库信息科技辑》.2016,(第09期),

审查员孟珍

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法

(57)摘要

CN110265228B本发明涉及了一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决现有技术加工时间长，且能量密度低的问题，提供一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法；该方法是通过空间整形的飞秒激光一步法还原并图案化加工出还原氧化石墨烯和二氧化锰复合材料电极，该方法能实现其高能量密度和高比表面积，同时能够克服其难于微小型和集成

CN110265228B

CN110265228B权利要求书1/1页

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1.一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，其特征在于：是通过空间整形的飞秒激光一步法还原并图案化，同时加工出还原氧化石墨烯和二氧化锰复合材料超级电容；包括下述步骤：

步骤一、制备氧化石墨烯和醋酸锰的混合薄膜；

步骤二、将步骤一得到的混合薄膜放置在基片上；

步骤三、将飞秒激光通过相位调制后，在物镜处形成所需要的电极形状的光场，得到整形后的飞秒激光；

步骤四、采用步骤三整形后的飞秒激光在所述混合薄膜表面，选择性加工一定深度，还原得到石墨烯和二氧化锰的电极材料，同时一步加工出相同形状，即得到超级电容；

步骤四所述飞秒激光的加工时间为0.02s、加工功率为120μw,每经过一次整形光的加工就实现一个还原氧化石墨烯和二氧化锰的超级电容的制备。

2.如权利要求1所述的一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，其特征在于：步骤三所述的电极形状包括：圆形、平行板型、插指型或插板型。

3.如权利要求1所述的一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，其特征在于：步骤三所述的相位调制是通过全息相位整形得到指定的灰度图，后加载到空间光调制器中，最终实现光场的图案化整形。

4.如权利要求1所述的一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，其特征在于：所述超级电容大小能够控制在50μm*50μm~150μm*150μm之间。

5.实现如权利要求1至4任意一项方法的装置，其特征在于：包括：飞秒激光，反射镜，空间光调制器，透镜一，透镜二，成像系统和20倍物镜；飞秒激光发出的光源经过反射镜后被空间光调制器调制，调制后的激光依次经过透镜一，透镜二和20倍物镜后照射到样品上。

CN110265228B说明书1/4页

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一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及了一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法，属于飞秒激光应用技术领域。

背景技术

[0002]超级电容器是一种介于传统电容器与电池之间，拥有特殊性能的一种储能电源器件。其利用双电层和氧化还原反应进行储能，并能够实现可逆与快速充放电，其能量密度高、循环寿命长、稳定性好、绿色且环保，同时还能够满足可移动、便携式的特点。已经被应