CN1624530A 一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410061394.8

[51]Int.Cl?

G02F1/01

G03F7/20H01L21/00

[43]公开日2005年6月8日[11]公开号CN1624530A

[22]申请日2004.12.20

[21]申请号200410061394.8

[71]申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

[72]发明人陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏

[74]专利代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青

权利要求书2页说明书7页附图3页

[54]发明名称一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备在桥面之上，电极位于金属桥墩上，且与氧化钒薄膜相连。本发明采用微桥结构，不仅可以降低光开关的热容值，提高开关速度，而且通过改变微桥结构参数，还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本发明为全固态器件，避免了MOMES光开关中的移动部件，提高了光开关的可靠性。本发明有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。

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4724-8001NSSI

知识产权出版社出版

200410061394.8权利要求书第1/2页

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1、一种氧化钒薄膜微型光开关，包括氧化钒薄膜及电极，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，

桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6);氧化钒薄膜(11)制备在桥面 (1)之上，电极(10、11)位于金属桥墩(4、5)上，且与氧化钒薄膜(12)相连。

2、根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述氧化钒薄膜(12)上覆盖有表面钝化层(9)。

3、根据权利要求2所述的光开关，其特征在于：所述表面钝化层(9)上覆盖有增透膜(8)。

4、根据权利要求1、2或3所述的光开关，其特征在于：衬底(7)上设有控制光开关通断的控制开关(13)。

5、权利要求1所述光开关的制作方法，包括：

①、在衬底上旋涂聚酰亚胺薄膜；

②、光刻聚酰亚胺薄膜，形成聚酰亚胺图形和桥墩孔并对聚酰亚胺图形进行亚胺化处理；

③、用金属填充桥墩孔，形成二个金属桥墩；

④、在聚酰亚胺图形和金属桥墩上制备介质薄膜，再制备氧化钒薄膜，氧化钒薄膜厚度为100nm-500nm;

⑤、利用光刻和刻蚀工艺制作互连孔，然后利用剥离工艺在互连孔内和氧化钒薄膜上制作金属电极；

⑥、在上述各薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀各薄膜层至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并用氧等离子体去除桥面和桥腿图形底

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部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。

6、根据权利要求5所述的方法，其特征在于：在步骤⑤与⑥之间，在氧化钒薄膜和金属电极上制作表面钝化层。

7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于：在表面钝化层上制作增透膜。

200410061394.8说明书第1/7页

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一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法

技术领域

本发明所属领域为光开关技术领域，具体涉及一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。

背景技术

光开关是光通讯领域中的核心器件，目前市场上的传统机械光开关具有开关时间长，体积大，无法形成大规模阵列等缺点，不能满足日益发展的光通讯技术和市场需求。当前正处于研究热点的光开关主要集中于五个方面，即微光机电(MOMES)光开关、液晶光开关、波导光开关和气泡或液泡驱动的光开关以及半导体光放大器(SOA)光开关。MO