CN107170797B 基于漏场板的电流孔径异质结晶体管及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107170797B

(45)授权公告日2020.04.14

(21)申请号201710198826.7

(22)申请日2017.03.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107170797A

(43)申请公布日2017.09.15

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维边照科丛冠宇郝跃王冲张进成曹艳荣

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华

HO1L21/335(2006.01)HO1L29/778(2006.01)

(56)对比文件

CN1853261A,2006.10.25,

CN101221980A,2008.07.16,US4290078A,1981.09.15,

CN104409493A,2015.03.11,JP2008244002A,2008.10.09,审查员肖玲

(51)Int.CI.

H01L29/06(2006.01)

H01L29/4