CN107170798B 基于栅场板和漏场板的垂直型功率器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

公

公

(45)授权

(10)授权公告号CN107170798B告日2020.04.14

(21)申请号201710198830.3

(22)申请日2017.03.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107170798A

(43)申请公布日2017.09.15

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维杨翠艾治州郝跃郑雪峰

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华

(51)Int.CI.

HO1L29/06(2006.01)

HO1L29/40(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

(56)对比文件

TW200828452A,2008.07.01,CNA,1987.03.11,JPS5717145A,1982.01.28,CN1969389A,2007.05.23,

CN104409493A,2015.03.11,