CN107170796B 分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107170796B

(45)授权公告日2020.05.05

(21)申请号201710198228.X

(22)申请日2017.03.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107170796A

(43)申请公布日2017.09.15

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维丛冠宇杜鸣郝跃张金风林志宇

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华

(51)Int.CI.

H01L29/06(2006.01)

H01L29/20(2006.01)

HO1L29/40(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

(56)对比文件

CN101221980A,2008.07.16,

US8530936B2,2013.09.10,CN101419982A,2009.04.29,

DE102015119345A1,2016.05.19,

CN1026