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CN114695239B 通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构 （恩特格里斯公司）.docxVIP

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  • 2026-03-07 发布于山西
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CN114695239B 通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构 （恩特格里斯公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114695239B

    (45)授权公告日2025.05.02

    (21)申请号202111648506.X

    (22)申请日2021.12.30

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114695239A

    (43)申请公布日2022.07.01

    (30)优先权数据

    63/132,6342020.12.31US

    (73)专利权人恩特格里斯公司地址美国马萨诸塞州

    (72)发明人C·凡卡拉曼S·西里尼亚诺

    刘研S·古达蒂

    T·K·佩鲁马尔M·利维

    J·莱辛斯基C

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