CN107800327A 一种开环可控高精度旋转压电驱动装置及其制作方法 （天津大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107800327A

(43)申请公布日2018.03.13

(21)申请号201710979482.3

(22)申请日2017.10.19

(71)申请人天津大学

地址300350天津市津南区海河教育园雅

观路135号天津大学北洋园校区

(72)发明人王世宇张朋辉柳金龙王哲人

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所12201

代理人李林娟

(51)Int.CI.

HO2N2/14(2006.01)

HO2N2/10(2006.01)

HO2N2/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种开环可控高精度旋转压电驱动装置及其制作方法

(57)摘要

CN107800327A一种开环可控高精度旋转压电驱动装置及其制作方法，装置包括：压电作动器工作于d33模式，并且采用叠片式以增大变幅行程，压电作动器沿径向安装，并且沿周向等间隔均匀分布。内齿定子和外齿转子均加工微齿，相互啮合；压电作动器工作于超声或非超声频段。方法包括：采用多片叠加方式制作大行程压电作动器，压电作动器的一端与平底滑块固接，另一端与外壳相连；环形内齿定子外侧铣削与压电作动器个数相同的平面，该平面与压电作动器的平底滑块构成移动副；内齿定子的内侧采用精加工方式制作微齿；外齿转子的外侧也加工微齿，与内齿定子的

CN107800327A

来用多片壶加方式制作大行积屯趣器1005,泳电作器10059一通评实济块102DM接，另一嘉与外100相

环腔内森定子10104德凭酬与压电作动1095个数同的平向，该平断与压电作动器1005的平城滞块102D构成移动

内齿定下1010R内褒派精加上式制作教齿，齿距齿高助为额不级

外齿转子1015潮外御也加工微米级轮齿，与内齿定了1010的内齿啮台，从而解证内齿定了1010和外区转子T015之阿记速比传动

CN107800327A权利要求书1/1页

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1.一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，所述压电驱动装置包括：外壳，其特征在于，所述外壳内设置有若干个压电作动器、内齿定子和外齿转子；

所述压电作动器的一端与外壳采用螺栓固接，另一端通过移动副与内齿定子外侧可动连接；所述压电作动器工作于d33模式，并且采用叠片式以增大变幅行程，所述压电作动器沿径向安装，并且沿周向等间隔均匀分布；

所述内齿定子和所述外齿转子均加工微齿，相互啮合；所述压电作动器工作于非超声频段。

2.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，

在交流信号作用下，各压电作动器产生非同步轴向伸缩运动，同时与内齿定子相对滑动；

在多个压电作动器作用下，内齿定子平动，共同驱动内齿定子绕外齿转子的几何形心转动，通过内齿定子和外齿转子的微齿啮合作用，驱动外齿转子定轴旋转。

3.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，所述压电作动器与内齿定子相对滑动。

4.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，内齿定子与外齿转子之间的速比恒定，采用开环控制。

5.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，所述若干个压电作动器沿外齿转子的轴向等间隔均匀分布，相邻压电作动器的周向夹角为2π/N,并且同时与外齿转子啮合，可消除有害径向力的协同驱动。

6.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，所述压电驱动装置的驱动信号的时空相位满足：

φ=Qψi,i=1,2,3,……N

式中，φi为第i个压电作动器的时间相位，ψi=2π(i-1)/N为空间相位，Q为非零整数，N为压电作动器的个数。

7.根据权利要求1所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置，其特征在于，所述内齿定子的数量为1个或多个，共同驱动外齿转子的转动。

8.一种用于权利要求1-7中任一权利要求所述的一种开环可控高精度旋转压电驱动装置的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：

采用多片叠加方式制作大行程压电作动器，压电作动器的一端与平底滑块固接，另一端与外壳相连；

环形内齿定子外侧铣削与压电作动器个数相同的平面，该平面与压电作动器的平底滑块构成移动副；

内齿定子的内侧采用精加工方式制作微齿；外齿转子的外侧也