CN103760681B 一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103760681B公告日2017.08.25

(21)申请号201410028203.1

(22)申请日2014.01.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103760681A

(43)申请公布日2014.04.30

(73)专利权人国家纳米科学中心

GO2B5/30(2006.01)

GO3F7/00(2006.01)

审查员张辉

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人董凤良徐丽华苗霈宋志伟闫兰琴褚卫国

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人巩克栋

(51)Int.CI.

GO2B27/28(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法

(57)摘要

本发明涉及一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法。所述方法包括以下步骤：