CN103760681A 一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103760681A

(43)申请公布日2014.04.30

(21)申请号201410028203.1

(22)申请日2014.01.21

(71)申请人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人董凤良徐丽华苗霈宋志伟闫兰琴褚卫国

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人巩克栋

(51)Int.CI.

GO2B27/28(2006.01)

GO2B5/30(2006.01)

GO3F7/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法

(57)摘要

CN103760681A本发明涉及一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法。所述方法包括以下步骤：(1)在基底上镀一层金属薄膜层并干燥处理；(2)在所述金属薄膜层上旋涂电子束正性光刻胶层并干燥处理；(3)在所述光刻胶层上通过电子束直写曝光并显影得到光刻胶纳米尺度微偏振片阵列图形；(4)采用电感耦合等离子体刻蚀