CN103528735B 一种微型光纤法布里珀罗压力传感器及其制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103528735B公告日2015.11.18

(21)申请号201310524956.7

(22)申请日2013.10.31

(73)专利权人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市宁六路219号

(72)发明人葛益娴王婷婷张闯冒晓莉

(74)专利代理机构南京众联专利代理有限公司

32206

代理人顾进叶涓涓

(51)Int.CI.

GO1L1/24(2006.01)

GO1L11/02(2006.01)

(56)对比文件

CN101034028A,2007.09.12,权利要求2.CN102261924A,2011.11.30,全文.

CN103091013A,2013.05.08,全文.

CN1614371A,2005.05.11,说明书第3-5页.

US2003/0183876A1,2003.10.02,全文.审查员李文娟

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

(57)摘要

CN1035287本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中，光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保

CN1035287

CN103528735B权利要求书1/1页

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1.一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，其特征在于：所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面，当单晶硅膜受压变形时，凸台顶面保持与凹腔相对面平行。

2.根据权利要求1所述的微型光纤法布里-珀罗压力传感器的制作方法，包括如下步骤：

(1)双面抛光的单晶硅片双面热氧化一层1mm厚的SiO?后，再用低压化学气相法在单晶硅片的两面淀积一层0.3mm厚的Si?N4;

(2)硅片顶面用BP218胶作保护，曝光显影后用RIE工艺刻蚀掉未被BP218胶保护的Si3N4,接着再用BOE腐蚀液将顶面暴露的SiO?去除，并用丙酮去除BP218胶；

(3)将硅片放在浓度为60%的KOH腐蚀液中，达到所需膜厚，膜片厚度为20~40mm;

(4)分别用反应离子刻蚀工艺和BOE溶液去除顶面的Si?N?和Si0?;

(5)将一段纤芯掺锗的硼硅酸盐光纤切出平端面，放入BOE腐蚀液进行腐蚀，腐蚀出所需腔长；

(6)运用静电键合工艺将台面膜和带凹腔的光纤键合连接；

(7)用光纤接续子封装所形成的光纤法布里-珀罗传感器，光纤接续子下壳体设有容置光纤的光纤槽，将光纤法珀传感器放入光纤槽，用设置在壳体两侧的夹紧结构夹紧上、下壳体，从而完成传感器的制作。

CN103528735B说明书1/3页

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一种微型光纤法布里一珀罗压力传感器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明属于光纤压力传感器技术领域，尤其是涉及一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器结构及该种传感器的其制作方法。

背景技术

[0002]光纤传感技术是上世纪70年代后期迅速发展起来的一项新技术，它是纤维光学在非通讯领域中的应用。光纤传感技术可以测量的物理量已达一百多种，它的优点是：应用范围广、灵敏度高、抗电磁干扰、绝缘性好、耐腐蚀、可曲挠、体积小、成本低，以及与光纤传输线路的兼容性好等等。

[0003]光纤法布里-珀罗压力传感器是光纤压力传感器中的一种，它通常由光纤端面和膜片端面构成法布里