CN104181203B 一种mems气体传感器及其制作方法 （苏州能斯达电子科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104181203B公告日2017.12.22

(21)申请号201410397034.9

(22)申请日2014.08.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104181203A

(43)申请公布日2014.12.03

(73)专利权人苏州能斯达电子科技有限公司地址215123江苏省苏州市工业园区若水

路398号C517

(72)发明人祁明锋张斑沈方平刘瑞丁海燕谷文

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202

代理人郝传鑫

(51)Int.CI.

GO1N27/00(2006.01)

B81B7/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

(56)对比文件

CN204128996U,2015.01.28,CN1538934A,2004.10.20,

CN1538934A,2004.10.20,

CN103274350A,2013.09.04,

CN1889276A,2007.01.03,

CN101329291