CN103972178B 用于加工载体的方法和用于制作电荷储存存储基元的方法 （英飞凌科技德累斯顿有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103972178B公告日2017.04.05

(21)申请号201410041554.6

(22)申请日2014.01.28

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103972178A

(43)申请公布日2014.08.06

(30)优先权数据

13/7511852013.01.28US

(73)专利权人英飞凌科技德累斯顿有限责任公司

地址德国德累斯顿

(72)发明人W.朗海因里希J.鲍威尔

M.勒里希岑柏湛M.施蒂夫廷格

R.施特伦茨

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公

司72001代理人王岳徐红燕

(51)Int.CI.

HO1L21/768(2006.01)

HO1L21/28(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

HO1L21/336(2006.01)

HO1L27/11534(2017.01)

(56)对比文件

CN1197293A,1998.10.28,

US2005/0170578A1,2005.08.0