贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 3 硅衬底制备.pdfVIP

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  • 2026-05-11 发布于贵州
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贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 3 硅衬底制备.pdf

衬底制备

贵州大学大数据与信息工程学院

半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路

的电子材料,它的电学性质对光、热、电、磁等外界因素的变化十分敏感,

在半导体材料中掺入少量杂质即可以控制这类材料的电导率。正是利用半导

体材料的这些性质,才制造出功能多样的半导体器件。

•常用半导体材料:

1.元素半导体。如:Si,Ge

2.化合物半导体。如:GaAs、InP、SiC、GaN、GaO等。

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