1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 高等教育
  5. 工学

贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 5 硅外延生长.pdf

贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 5 硅外延生长.pdf

    贵州大学大数据与信息工程学院

    •定义

    •工艺目的

    •外延设备

    •外延工艺流程

    一、外延的含意

    •Epitaxy来源于希腊语，表示在上面排列upontoarrange。

    •外延的含意是在单晶衬底上长上一层有一定厚度一定电阻率及一

    定晶格结构的单晶。

    •外延是一种单晶生长技术但又不同于拉晶、也不同于一般的化学

    气相淀积（CVD）。

    体单晶材料不能满足日益发展的各种半导体器件制

    作的需要

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >